表面形状計測装置

開放特許情報番号
L2009003777
開放特許情報登録日
2009/5/29
最新更新日
2012/7/27

基本情報

出願番号 特願2005-124052
出願日 2005/4/21
出願人 国立大学法人東北大学
公開番号 特開2006-300778
公開日 2006/11/2
登録番号 特許第4982731号
特許権者 国立大学法人東北大学
発明の名称 表面形状計測装置
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 変位センサ、マイクロ非球面形状の計測
目的 マイクロ非球面レンズ等の表面形状計測において、走査系の誤差、特にスピンドルの回転運動の誤差も除去できる表面形状計測装置の提供。
効果 本技術によれば、試料外周部に設けた補助試料を2つの変位センサで測定して、回転系の運動誤差を分離した形で表面形状を求めておくことにより、スライドの真直度誤差、スピンドルの回転運動誤差、熱膨張などによる系統誤差を、全て除去できる。また、プローブを傾けることにより、先端のプローブ球の使用範囲を狭くすることができ、誤差をより少なくすることが可能である。
技術概要
この技術では、走査系を構成している回転スピンドル及び直動スライドと、スライド上に設置されている変位センサ類で構成されている。回転スピンドルにより、計測試料とその外周に設けられた補助試料とが回転している。直線上に動く直動スライド上では、計測試料形状計測用変位プローブと、その両側に補助試料の表面形状及び走査系の運動誤差を計測できる2台の変位センサを設置している。試料外周部に設けた補助試料を変位センサで2点測定して、表面形状を求めておくことにより、直動スライドの真直度誤差、回転スピンドルの回転運動誤差、熱膨張などによる系統誤差を全て除去できるようにしている。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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