基準格子及びその製造方法

開放特許情報番号
L2009003769
開放特許情報登録日
2009/5/29
最新更新日
2010/7/16

基本情報

出願番号 特願2004-277701
出願日 2004/9/24
出願人 住友重機械工業株式会社
公開番号 特開2006-088552
公開日 2006/4/6
登録番号 特許第4536469号
特許権者 住友重機械工業株式会社
発明の名称 位置検出用の反射型検出装置の基準格子製造方法
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 半導体露光装置、位置検出器
目的 位置検出を高精度に行う基準格子を樹脂成型により量産化する方法の提供。
効果 本技術によれば、樹脂成型によりシート状に薄型化された基準格子を安価に量産することが可能になると共に、精密な微細凹凸形状パターンを有する樹脂薄膜を比較的容易に成型することが可能になる。
技術概要
この技術は、表面に所定の微細凹凸形状パターンが形成された基準格子を製造する基準格子製造方法であって、微細凹凸形状パターンを有する成型用金型の成型空間内に樹脂材を注入する工程と、成型用金型を所定温度に加熱することにより成型空間内に注入された樹脂材を硬化させる工程と、成型用金型の成型空間を閉塞する蓋部材に接着された樹脂成形品を蓋部材と共に成型用金型から離型する工程と、を有する。そして、樹脂成型用金型によりプラテンと一体化された状態の反射面角度格子を成型することができるので、シート状に薄型化された反射面角度格子を安価に量産することが可能になる。また、反射面角度格子をプラテンと一体化された状態のまま樹脂成型用金型から取り出してリニアモータに容易に取り付けることができるので、シート状に成型された反射面角度格子を正確に取り付けることができ、且つ高精度に成型された反射面角度格子が歪んだ状態で取り付けることを防止できる。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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