近接場光学顕微鏡装置

開放特許情報番号
L2009003657
開放特許情報登録日
2009/5/22
最新更新日
2010/12/3

基本情報

出願番号 特願2000-216432
出願日 2000/7/17
出願人 国立大学法人京都大学
公開番号 特開2002-031591
公開日 2002/1/31
登録番号 特許第4614296号
特許権者 国立大学法人京都大学
発明の名称 近接場光学顕微鏡装置
技術分野 電気・電子、その他
機能 検査・検出
適用製品 近接場光学顕微鏡装置
目的 励起エリア外の発光を検出することができる近接場光学顕微鏡装置を提供する。
効果 光源側導光手段とは別に、試料の発光を受光する受光側導光手段を備え、この受光側導光手段は、光源側導光手段先端から離間した位置の試料表面に向けて先端が配置されるので、拡散によって励起エリア外に流れ出し、励起エリア外での発光を観測できる。受光側導光手段が複数設けられることによって、試料表面の複数箇所での発光を観測できる。受光側導光手段を移動可能とすることによって、たとえば受光側導光手段を試料表面上でスキャンすることで、1本の受光側導光手段で、試料全面の発光を観測できる。
技術概要
光源からの光を試料表面に導く光源側導光手段を有し、光源側導光手段先端の近接場光によって試料の微小領域を照射し、照射された試料からの光を受光して試料を観測する近接場光学顕微鏡装置は、光源側導光手段先端から、試料表面に沿う方向に離間した位置の試料表面に向けて先端が配置され、試料からの光を導く受光側導光手段を有し、光源側導光手段で照射された位置とは異なる位置からの光を観測可能である。図は、この概要を示す図である。光源側導光手段で試料を励起すると、励起場所において、電子・正孔(キャリア)あるいはそれらが結合した励起子が発光するとともに、電子、キャリア、励起子の多くは拡散によって励起エリア外に流れ出し、他の場所において発光する。受光側導光手段を複数設けることによって、試料表面の複数箇所での発光を同時に観測できる。受光側導光手段先端が、試料表面で移動可能に設けられる。受光側導光手段を移動可能とすることによって、たとえば受光側導光手段を試料表面上でスキャンすることで、1本の受光側導光手段で、試料全面の発光を観測できる。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 先端が試料表面で行列状に配置された受光側導光手段の反対側端部を一列に配置して2次元状にイメージセンサーに出射することによって、一つのイメージセンサーで複数箇所のスペクトル分布を観測でき、低コストで波長分解可能な近接場光学顕微鏡を実現できる。
改善効果2 先端が試料表面で行列状に配置された受光側導光手段の反対側端部を一列に配置して2次元状にイメージセンサーに出射することによって、試料表面の複数位置での検出光を時間分解して観測することができる。このようにして、一つのイメージセンサーで複数箇所での検出光のタイムプロファイルを観測でき、低コスト化が図れる。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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