加速度センサ、および加速度検出装置

開放特許情報番号
L2009003319
開放特許情報登録日
2009/5/15
最新更新日
2012/8/21

基本情報

出願番号 特願2006-242852
出願日 2006/9/7
出願人 国立大学法人京都大学
公開番号 特開2008-064603
公開日 2008/3/21
登録番号 特許第5034043号
特許権者 国立大学法人京都大学
発明の名称 加速度センサ、および加速度検出装置
技術分野 電気・電子、無機材料、金属材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 簡便な操作で得られ、携帯情報端末やデジタルカメラ、外付HDD等に広く利用される。
目的 小型化可能で3次元的に作用する加速度を検出可能な加速度センサ及び加速度センサを備えた加速度検出装置を提供する。
効果 従来のバルクマイクロマシニング技術で作製された加速度センサと比べて加速度を3次元的に検出しながら、加速度センサの構造を薄くして小型化を図ることができる。
技術概要
基板23と、この基板に対しX、Y、Z軸方向に揺動自在な揺動体とを備え、揺動体は第1揺動杆とこれに交差する第2揺動杆とを備え、両揺動杆の交差部を中心として反対方向に伸びる、合計4つの揺動杆部材の夫々には少なくとも1個の可動電極が形成され、基板側には可動電極の夫々に対向する固定電極が形成されて、少なくとも4個の電極対が形成され、第1揺動杆を構成する一対の揺動杆部材の夫々の可動電極と、これらに対向する固定電極とによって形成されている一対の電極対は、第1揺動杆の長手方向(X軸方向)の揺動に対し、一方の電極対の間隙が縮まり、他方の電極対の間隙が拡がるように設定され、第2揺動杆を構成する一対の揺動杆部材の夫々の可動電極と、これらに対向する固定電極とによって形成された一対の電極対は、第2揺動杆の長手方向(Y軸方向)の揺動に対し、一方の電極対の間隙が縮まり、他方の電極対の間隙が拡がるように設定され、さらに、揺動体のZ軸方向の揺動に対し、第1揺動杆の電極対の対向面積の変化と第2揺動杆の電極対の対向面積の変化とが逆になるよう固定電極と可動電極の関係が設定されている、加速度センサである。
イメージ図
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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