| 出願番号 |
特願2006-550853 |
| 出願日 |
2005/12/28 |
| 出願人 |
国立大学法人京都大学 |
| 公開番号 |
WO2006/073117 |
| 公開日 |
2006/7/13 |
| 登録番号 |
特許第4783907号 |
| 特許権者 |
国立大学法人京都大学 |
| 発明の名称 |
光学的センサ及びその製造方法 |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
表面処理 |
| 適用製品 |
高感度の光学的センサ |
| 目的 |
貴金属の局所プラズモンの励起を利用した表面増強ラマン散乱法やプラズモン共鳴分光法などの光を利用して分子計測を行う光学的センサを提供する。 |
| 効果 |
平板状の基体に斜め方向から交互に向きを反転しつつ透明物質又は貴金属を蒸着するという単純なものであり、再現性も高く、低廉な製造コストとする事が出来る。 |
技術概要
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光学的センサ１は、基体２の上に、この基体に略平行な断面が所定のアスペクト比を有する（細長い）多数の微小柱状体３を一方向に配向させて形成させる。基体２は、その表面上に多数の微小柱状体３を形成するための平板とし、基体の材料は、各種のガラス、半導体、金属などとする。基体２上に斜め方向から透明な物質を蒸着した透明部３１とし、その方向を随時反転することで所定のアスペクト比を有する異方形状の微小柱状体３を多数その長手方向及び短手方向を揃えて透明物質を蒸着して形成させる。透明部３１の材料は、プローブ光に対して透明である、ＳｉＯ↓２、Ｔａ↓２Ｏ↓５、ＴｉＯ↓２等の酸化物、ＬｉＦ等のフッ化物等とするのが好ましい。更に、形成された微小柱状体３の表面に高感度の光学的センサとするために、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ等の貴金属を蒸着して貴金属部３２とを組み合わせとさせるのが好ましい。また、貴金属蒸着は内部に一層以上の貴金属部３２を形成させる事が出来る。安価な方法で、高い感度の光学的センサを作製することができる。 |
| イメージ図 |
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| 実施実績 |
【試作】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【可】
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| 特許権実施許諾 |
【可】
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