紫外線検出器及びその製造方法

開放特許情報番号
L2009003243
開放特許情報登録日
2009/5/15
最新更新日
2011/9/22

基本情報

出願番号 特願2007-090303
出願日 2007/3/30
出願人 地方独立行政法人 岩手県工業技術センター
公開番号 特開2008-251773
公開日 2008/10/16
登録番号 特許第4806812号
特許権者 地方独立行政法人 岩手県工業技術センター
発明の名称 複数の紫外線センサを備える装置
技術分野 電気・電子、機械・加工
機能 機械・部品の製造、制御・ソフトウェア、検査・検出
適用製品 紫外線センサ、火炎センサ、火災警報機
目的 紫外線センサの感知可能な波長帯域を調整する方法であって、特に、酸化亜鉛(ZnO)単結晶基板をベースとした紫外線センサにおいて、UV−A〜UV−Cの分別検出に寄与し得るような方法を提供すると共に当該方法に基づいて製造される装置を提供する。
効果 UV−A〜UV−Cを検出可能なセンサ、UV−B及びUV−Cを検出可能なセンサ、並びにUV−Cのみを検出可能なセンサを構成することができる。また、基板を共通化することができるので、UV−A〜UV−Cを分別検出可能な装置を一体形成することが可能となり、装置の小型化を達成することができる。
技術概要
酸化亜鉛単結晶基板とショットキー電極とを備える紫外線センサの感知可能な波長帯域を長波長側にシフトさせる場合には、カドミウムを添加した酸化亜鉛薄膜を酸化亜鉛単結晶基板上に形成し、その酸化亜鉛薄膜上にショットキー電極を形成する。一方、波長帯域を短波長側にシフトさせる場合には、マグネシウムを添加した酸化亜鉛薄膜を酸化亜鉛単結晶基板上に形成した後に薄膜上にショットキー電極を形成する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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