| 出願番号 |
特願2008-334699 |
| 出願日 |
2008/12/26 |
| 出願人 |
独立行政法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
特開2010-155919 |
| 公開日 |
2010/7/15 |
| 登録番号 |
特許第5004193号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
ポリイミド薄膜の作製方法 |
| 技術分野 |
有機材料 |
| 機能 |
材料・素材の製造 |
| 適用製品 |
ポリイミド薄膜 |
| 目的 |
ポリイミドの極薄膜を容易にハンドリングできるように、溶液中に浮いた状態の大面積且つ丈夫な極薄膜を作製でき、さらにこれを溶液中からすくい取ってポリイミドの自立膜を実現できる、ポリイミド膜作製方法を提供する。 |
| 効果 |
ポリイミドの極薄膜を容易にハンドリングできるように、溶液中に浮いた状態の大面積且つ丈夫な極薄膜を作製することができ、さらにこれを溶液中からすくい取ってポリイミドの自立膜を実現することができる。 |
技術概要
 |
図１に示すように、ホットプレート１０を用いて１００℃、１０分のベークを施し、基板１表面の水分を蒸発させる。溶媒可溶ブロック共重合型ポリイミド溶液３をスポイト３０等の溶液供給手段から供給し、スピンコータ２０を用いて基板１を回転させて、表面にポリイミド膜２をコーティングする。次に、ホットプレート１０を用いて、６０℃にて１０分のベークを施し、溶媒を揮発させる。溶媒可溶型ポリイミドを溶解しない剥離溶媒として７０度の純水４を用い、シャーレ４０等の剥離溶液容器内の純粋４に浸漬させて、基板２表面とポリイミド膜１との界面への純水４の浸入を促し、基板１上のポリイミド膜２の角の部分をめくりあがらせる。続いて、めくりあがった部分を水面に浮かせた状態で、基板１を傾斜させて下方向につまり純水４中に移動させる。ポリイミド２膜が基板１から完全に剥離し、水面上に浮遊する。後は、浮遊したポリイミド膜２をすくい取る。水面に浮遊したポリイミド膜２の１辺を２本のフレーム５０の各１点に接触させ、そこから徐々にフレーム５０を上昇させてフレーム５０にポリイミド膜２の２辺を付着させる。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)