ポリイミド薄膜の作製方法

開放特許情報番号
L2009002984
開放特許情報登録日
2009/5/8
最新更新日
2015/9/28

基本情報

出願番号 特願2008-334699
出願日 2008/12/26
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2010-155919
公開日 2010/7/15
登録番号 特許第5004193号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 ポリイミド薄膜の作製方法
技術分野 有機材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 ポリイミド薄膜
目的 ポリイミドの極薄膜を容易にハンドリングできるように、溶液中に浮いた状態の大面積且つ丈夫な極薄膜を作製でき、さらにこれを溶液中からすくい取ってポリイミドの自立膜を実現できる、ポリイミド膜作製方法を提供する。
効果 ポリイミドの極薄膜を容易にハンドリングできるように、溶液中に浮いた状態の大面積且つ丈夫な極薄膜を作製することができ、さらにこれを溶液中からすくい取ってポリイミドの自立膜を実現することができる。
技術概要
図1に示すように、ホットプレート10を用いて100℃、10分のベークを施し、基板1表面の水分を蒸発させる。溶媒可溶ブロック共重合型ポリイミド溶液3をスポイト30等の溶液供給手段から供給し、スピンコータ20を用いて基板1を回転させて、表面にポリイミド膜2をコーティングする。次に、ホットプレート10を用いて、60℃にて10分のベークを施し、溶媒を揮発させる。溶媒可溶型ポリイミドを溶解しない剥離溶媒として70度の純水4を用い、シャーレ40等の剥離溶液容器内の純粋4に浸漬させて、基板2表面とポリイミド膜1との界面への純水4の浸入を促し、基板1上のポリイミド膜2の角の部分をめくりあがらせる。続いて、めくりあがった部分を水面に浮かせた状態で、基板1を傾斜させて下方向につまり純水4中に移動させる。ポリイミド2膜が基板1から完全に剥離し、水面上に浮遊する。後は、浮遊したポリイミド膜2をすくい取る。水面に浮遊したポリイミド膜2の1辺を2本のフレーム50の各1点に接触させ、そこから徐々にフレーム50を上昇させてフレーム50にポリイミド膜2の2辺を付着させる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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