X線分解能評価用ファントム

開放特許情報番号
L2009002981
開放特許情報登録日
2009/5/8
最新更新日
2015/9/28

基本情報

出願番号 特願2008-332159
出願日 2008/12/26
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2010-151726
公開日 2010/7/8
登録番号 特許第5004100号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 X線分解能評価用ファントム
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 X線分解能評価用ファントム
目的 高分解能マイクロフォーカスX線検査システムのための、空間分解能とコントラスト分解能を同時に評価できるX線分解能評価用ファントムを提供する。
効果 3次元パターンモデルは、シリコン基板上に約100ミクロンの高さの直方体として整形され、それを基板平面と平行な方向からX線を照射して検出面に拡大投影することにより、プラスチック等のパターン保護材の減衰の影響を受けずに、整形したパターンの厚みまたは材質によるX線減衰だけを反映した投影像が得られる。
技術概要
図1は石英ガラス基板上のクロム製フォトマスクパターンの説明図である。マスクパターン10は、クロム製フォトマスク11が石英基板12上に貼り付けられて構成されている。図2は複数の矩形ブロック3を基板4上にY軸方向に並置した3次元パターンモデル(X線分解能評価用ファントム)1のうちの矩形ブロックモデル2である。この場合、矩形ブロック3は、主矩形ブロック3a、副矩形ブロック3b、主矩形ブロック…、主矩形ブロック3n(nは任意の正数)を基板2上にY軸方向に並置する。矩形ブロック3のそれぞれは、この例の場合Y軸方向の幅が同じ幅Wで、Z軸方向の高さが同じ高さHで、X軸方向の長さを変えることで必要な透過X線量を得ることができるが長さ、例えば、長さL1、L2等、に変えた直方体の感光性樹脂パターンからなる。但し、主矩形ブロックと副矩形ブロックの配列順番、数等は必要とするX線透過量特性に応じて適宜設定できる。図3は感光性樹脂で作成した3次元パターンの顕微鏡写真である。図4は感光性樹脂エッチングで作成した3次元パターンのX線透過像の写真である。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【改善】
改善効果1 感光性樹脂のエッチングを使う際に、マスクパターンの設計・製作において、コントラストや空間分解能を調節した様々なパターンを加工することで、一回のエッチング処理で複数のコントラストおよび空間分解能評価パターンを作成できるので、X線による画像計測時において各種パラメータの設定変更の時間や回数がはるかに軽減できる。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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