微細金属バンプの形成装置及び形成方法

開放特許情報番号
L2009002971
開放特許情報登録日
2009/5/8
最新更新日
2015/9/28

基本情報

出願番号 特願2008-324335
出願日 2008/12/19
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2010-147323
公開日 2010/7/1
登録番号 特許第5062763号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 微細金属バンプの形成装置及び形成方法
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 微細金属バンプ、MEMSデバイス
目的 基板の一面側に形成された金属部材の所定箇所に、ガスデポジション法により金属粒子を堆積させ、微細な金属バンプを形成する微細金属バンプの形成装置及び形成方法において、バンプサイズに依らず基板温度の過昇温を抑制し、容易且つ効率的に基板上に錐形状バンプを形成することのできる微細金属バンプの形成装置及び形成方法の提供。
効果 本技術によれば、基板の一面側に形成された金属部材の所定箇所に、ガスデポジション法により金属粒子を堆積させ、微細な金属バンプを形成する微細金属バンプの形成装置及び形成方法において、バンプサイズに依らず基板温度の過昇温を抑制し、容易且つ効率的に基板上に錐形状バンプを形成することのできる微細金属バンプの形成装置及び形成方法を得ることができる。
技術概要
この技術では、一面側に形成された金属配線を覆うマスク層に金属配線の所定箇所が露出するホールパターンが形成された基板を保持する基板保持手段と、基板保持手段により保持された基板の一面側に対し、金属を蒸発して得られる金属微粒子をキャリアガスと共にノズルから噴射する金属微粒子噴射手段とを備え、金属微粒子噴射手段によって噴射された金属微粒子を金属配線の所定箇所に堆積させ、ガスデポジション法によって錐形状の金属バンプを形成する微細金属バンプの形成装置であって、基板保持手段は、基板をその他面側から保持する冷却部材と、基板と冷却部材との間に介設され、可撓性を有する熱伝導性シートとを有する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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