窒化珪素系セラミックスの被接合部材同士を接合する方法

開放特許情報番号
L2009002961
開放特許情報登録日
2009/5/8
最新更新日
2015/9/28

基本情報

出願番号 特願2008-316590
出願日 2008/12/12
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2010-138038
公開日 2010/6/24
登録番号 特許第5166223号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 窒化珪素系セラミックスの被接合部材同士を接合する方法
技術分野 無機材料
機能 接着・剥離
適用製品 窒化珪素セラミックス材料
目的 大型形状および/または複雑形状の製品にも適用することができ、接合部分の欠陥が有意に抑制されるとともに、比較的均質な接合体を得ることが可能な窒化珪素系セラミックス部材の接合方法の提供。
効果 本技術によれば、大型形状および/または複雑形状の製品にも適用することができ、接合部分の欠陥が有意に抑制されるとともに、比較的均質な接合体を得ることが可能な窒化珪素系セラミックス部材の接合方法を提供することができる。
技術概要
本技術による方法は、(a)シリコン粒子を含む第1の原料を調製するステップと、(b)第1の原料から成形体を形成するステップと、(c)窒素雰囲気下、1100℃〜1450℃の範囲のいずれかの温度に成形体を保持し、成形体中のシリコン粒子を反応焼結処理するステップと、(d)第1の原料と同様の第2の原料を調製するステップと、(e)第2の原料からスラリーを調製するステップと、(f)後に接合材が形成される被接合部材同士の隙間に、スラリーを注入して、接合材を形成させるステップと、(g)ステップ(c)と同様の反応焼結処理により、接合材中のシリコン粒子を反応焼結処理するステップと、を有する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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