顕微鏡及びその観測方法

開放特許情報番号
L2009002786
開放特許情報登録日
2009/4/17
最新更新日
2015/8/20

基本情報

出願番号 特願2007-187560
出願日 2007/7/18
出願人 独立行政法人情報通信研究機構
公開番号 特開2009-025488
公開日 2009/2/5
登録番号 特許第5142315号
特許権者 国立研究開発法人情報通信研究機構
発明の名称 顕微鏡及びその観測方法
技術分野 機械・加工、情報・通信、その他
機能 制御・ソフトウェア、検査・検出、その他
適用製品 多様な観測形態を可能にする顕微鏡と、その顕微鏡による観測方法に関する。
目的 様々な大きさの試料を、様々な用途に応じて効率よく観測できるように、多様な観測形態を可能にする顕微鏡と、その顕微鏡による観測方法を提供すること。
効果 粗調整用ステージ、微調整用ステージ、鏡筒調整用ステージによって、9軸の調整変数を備えるので位置調整の便宜が向上し、また、粗調整用ステージと微調整用ステージとの移動制御によって、観測の効率が向上する。
技術概要
顕微鏡は、試料を設置するステージと、ステージを支持すると共に移動させて位置調整するステージ制御手段と、試料に光を投光する投光手段と、鏡筒を有して試料からの光を受光する受光手段とを少なくとも備える。 ステージが、試料を載置すると共に、その載置されるXY面内で少なくとも2次元方向に移動出来、その移動距離が微小である微調整用ステージと、微調整用ステージを支持すると共に、鏡筒と試料とを結ぶZ方向を更に含むXYZ方向に3次元的に移動可能であり、その移動距離が微調整用ステージの移動距離より大きな粗調整用ステージとから成り、更に、鏡筒に、鏡筒を支持し、XYZ方向に3次元的に移動可能な鏡筒調整用ステージが備えられる。微調整用ステージは、直交するXYZ方向に移動可能なピエゾ素子型である。試料の観測位置を調整後、粗調整用ステージの移動制御によって、試料の略全体像を低倍率の合焦部材で観測し、その後、微調整用ステージの移動制御によって、試料の所望部位を高倍率の合焦部材で観測し、同時に2次元画像検出と共焦点観測を行う。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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