雰囲気制御型加熱装置

開放特許情報番号
L2009002295
開放特許情報登録日
2009/3/27
最新更新日
2015/10/8

基本情報

出願番号 特願2008-029534
出願日 2008/2/8
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2008-200672
公開日 2008/9/4
登録番号 特許第4997390号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 雰囲気制御型加熱装置
技術分野 電気・電子、情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 赤外線加熱式の雰囲気制御型加熱装置
目的 電気配線の導入等も可能でありながら、高温部の目視が可能な雰囲気制御型加熱装置の提供。
効果 本技術によれば、チャンバー内に電気配線などを行っても、赤外線による影響を受けることなく、チャンバーを可視光透過性にすることができ、高温部などのチャンバー内の目視も可能になった。また、発熱体と高温部とがチャンバーの内外で完全に分離されているため、チャンバー内部が高反応性ガスに満たされている場合においても、発熱体へのダメージを考慮せずに安定した温度制御が可能である。
技術概要
この技術では、チャンバーが可視光透過性であると共に、加熱部からの赤外線に曝されるチャンバー面には、高温部へ照射される赤外線以外を遮蔽する壁が設けてある。又、加熱部は、回転楕円形のミラーの焦点に発光ランプを配置してなり、ミラーによる反射光の焦点に高温部が位置するように配置してある。又、赤外線以外を遮蔽する壁は耐火煉瓦よりなり、その壁を貫通して前記高温部が設けてあり、その高温部の外側露出部分に赤外線を照射するように加熱部を配置してある。即ち、ガラスチューブと、耐熱性樹脂製の各上下環状フランジ及び上蓋,真鍮フランジからなる縦置き型として構成されたチャンバーと、赤外線輻射装置、ハロゲンランプ、ミラーになる加熱部から構成され、この縦置き型チャンバー底面に石英ガラス窓を備え、石英ガラス窓を通じて、ハロゲンランプからの赤外線を入射、集光することにより、チャンバー内部に高温部が作り出される。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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