電圧印加下における電子分光測定装置

開放特許情報番号
L2009002260
開放特許情報登録日
2009/3/27
最新更新日
2015/10/7

基本情報

出願番号 特願2006-296406
出願日 2006/10/31
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2008-111800
公開日 2008/5/15
登録番号 特許第5229848号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 電圧印加下における電子分光測定装置
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 多層構造を有する電子デバイス、電子のポテンシャル
目的 印下電圧を連続的に変化させて各層間に生じるポテンシャル差を調査することができる装置の提供。
効果 本技術によれば、多層構造の上下に電圧を印加したことによる各層の電子ポテンシャルへの影響が電圧の関数として計測できるようになった。
技術概要
この技術では、非オーミックコンタクトを持つ界面構造を有する試料の上部に電極、下部に電極をつけ、電線を通して真空容器外に電極端子を取り出す。それぞれの電線はオンオフスイッチを介して可変式の定電圧発生器に接続し、オンオフスイッチのいずれかはスイッチを介してアースに接続するようになっている。スイッチのオンオフにより、様々な電圧印加状態を実現する。なお、オンオフスイッチにかわり、ロータリースイッチを設け、真反対の2面と一面の3面に通電部を設け、電線には、それぞれ通電部に接触できる端子を設けて、ロータリースイッチの回転により、電線の通電状態を4通りに変更できるようにするのも可能である。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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