ガラスプレス用モールドの作製方法

開放特許情報番号
L2009002225
開放特許情報登録日
2009/3/27
最新更新日
2015/10/7

基本情報

出願番号 特願2006-188503
出願日 2006/7/7
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2008-013417
公開日 2008/1/24
登録番号 特許第5098111号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 ガラスプレス用モールドの作製方法
技術分野 無機材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 ガラスプレス用モールド、ガラス製光学部品、結晶化ガラス
目的 表面粗さの極めて小さい、微細構造を有するガラスプレス用モールドを、より簡便に作製することのできるガラスプレス用モールドの作製方法の提供。
効果 本技術によれば、一般的な光学ガラス製造のためのガラスプレス用モールドはもちろんのこと、微細構造を転写するためのガラスプレス用モールド等をも、より簡便に作製できる方法を提供することができる。
技術概要
この技術では、まず、シリコンモールドを用意する。シリコンモールドは、単結晶シリコン等の表面に所望の表面形状を作製することにより得ることができる。このシリコンモールドの作製に際し、IC加工技術を応用することにより、より高分解能かつ高精度であり、また、自由度の高い微細加工が可能となる。具体的には、シリコンの加工に際し、LSI/MEMS微細加工技術を利用することで、数十nmの水準の微細性を有する表面形状を作製することが可能となる。次いで、シリコンモールド上に、耐熱金属材料を堆積させる。耐熱金属材料の堆積には、気相化学成長(CVD)法、スパッタリング法、電気めっき法等の各種の堆積手法を用いる。また、耐熱金属材料としては、たとえば、800℃以上の高温強度及び耐酸化特性等の化学的安定性に優れたWC−Co系超硬合金、Ni及びNi基耐熱合金、Co及びCo基耐熱合金、白金族金属、白金族金属基合金などの金属、合金を用いる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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