個体のキャリア移動度測定方法

開放特許情報番号
L2009002220
開放特許情報登録日
2009/3/27
最新更新日
2015/10/7

基本情報

出願番号 特願2006-172865
出願日 2006/6/22
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2008-002960
公開日 2008/1/10
登録番号 特許第4831482号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 個体のキャリア移動度測定方法
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 半導体、金属などの材料からなるナノ構造デバイス
目的 動的な状態のキャリア移動度を短時間で且つ正確に測定することができる固体のキャリア移動度測定方法の提供。
効果 本技術によれば、電子又は正孔の集団振動であるプラズモン又はプラズモンライクなLOフォノン−プラズモン結合モードの実時間振動波形を測定することにより、緩和時間を直接求め、それによって固体のキャリア移動度を求めるようにしたので、動的な状態のキャリア移動度を短時間で且つ正確に測定することができる固体のキャリア移動度測定方法を提供することができる。
技術概要
本技術は、従来法のように周波数領域でプラズモン又はプラズモンライクなLOフォノン−プラズモン結合モードの減衰定数γを求めるのではなく、時間領域で直接的にプラズモン又はプラズモンライクなLOフォノン−プラズモン結合モードの緩和時間τを求めるという全く新しい発想で、金属や半導体(極性、非極性を問わない)バルク結晶や薄膜、および金属や半導体などを含む固体のナノ構造体などにおける移動度を測定するものである。即ち、プラズモン又はプラズモンライクなLOフォノン−プラズモン結合モードの緩和時間τを求めるには、ポンプ−プローブ分光法と呼ばれる一般的な時間分解測定法を用いて、反射率(あるいは透過率)変化においてプラズモン又はプラズモンライクなLOフォノン−プラズモン結合モードによる実時間振動構造を測定することにより行う。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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