SQUID顕微鏡

開放特許情報番号
L2009002178
開放特許情報登録日
2009/3/27
最新更新日
2015/10/6

基本情報

出願番号 特願2007-153650
出願日 2007/6/11
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2008-304411
公開日 2008/12/18
登録番号 特許第5218954号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 SQUID顕微鏡
技術分野 金属材料、電気・電子、その他
機能 検査・検出、材料・素材の製造、その他
適用製品 金属材料や無機材料、半導体素子や半導体材料など、各種の素子や材料の試料ついて、高い空間分解能をもって磁気量を計測できるSQUID顕微鏡。超伝導量子干渉素子を備えたSQUID顕微鏡。
目的 試料とプローブとが接触することなく、かつ、空間分解能を高めることができ、ロックイン検出法によって信号対雑音比の高い磁気信号を得ることができるSQUID顕微鏡を提供すること。
効果 被測定試料をロックイン検出することで、被測定試料の磁場分布や走査速度に影響を受けずに、信号対雑音比の高い信号を得る。また試料とプローブ先端の距離を制御され、高い磁場空間分解能を得る。
技術概要
SQUID顕微鏡は、プローブと被測定試料との間隔を非接触状態に保つ制御部と、被測定試料に所定周波数の振動を付与する加振機構と、この振動状態での試料の振動周波数と同じ周波数の磁気信号のみを検出するロックイン検出機構とが設けてある。 また制御部を、プローブの先端と被測定試料との間隔をその間に生じるトンネル電流にて計測し、この電流値が所望の値となるようにプローブと被測定試料との間隔を制御する。 SQUID顕微鏡は、SQUID顕微鏡部と走査トンネル顕微鏡部とで構成されている。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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