ナノアクチュエータ

開放特許情報番号
L2009002165
開放特許情報登録日
2009/3/27
最新更新日
2015/10/6

基本情報

出願番号 特願2007-103365
出願日 2007/4/11
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2008-261675
公開日 2008/10/30
登録番号 特許第4997633号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 ナノアクチュエータ
技術分野 機械・加工、金属材料、その他
機能 制御・ソフトウェア、その他
適用製品 小型化された電子素子等の作製、及び、検査過程において、マスクやプローブのサブマイクロメートルオーダーでの位置合わせ。プローブ顕微鏡の粗動機構。
目的 重力の影響を殆ど受けることのない、2軸方向への移動を可能にしたナノアクチュエータを提供することを目的とする。
効果 シェアピエゾ素子組を採用しているのでコンパクトであり、機械的振動・音波の影響を受けにくい。
技術概要
ナノアクチュエータは、シェアピエゾ素子の電圧印加による歪みを利用して部材を移動させるものである。 ナノアクチュエータは、可動部材としシェアピエゾ素子を可動部材の表裏両面から挟み込んだ可動部材保持構造と、表裏に相互に異なる方向にゆがむように配したシェアピエゾ素子に対する電圧印加の時期とON−OFF速度をそれぞれ制御できる制御手段とを備える。また、複数のシェアピエゾ素子を直線状に歪み方向を揃えて配置したシェアピエゾ素子組を構成し、このシェアピエゾ素子組を複数個配置する。 可動部材の一方の面に一つのシェアピエゾ素子組を配置し、これに交差する様に歪み方向を向けて、他方の面に複数のシェアピエゾ素子組を配置した。可動部材が移動する時、その移動方向に対して直角方向に歪むシェアピエゾ素子組をそれらからの移動力が相殺される方向に歪ませる様にした。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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