MEMSスイッチ及び携帯無線端末機器

開放特許情報番号
L2009001894
開放特許情報登録日
2009/3/14
最新更新日
2012/1/6

基本情報

出願番号 特願2006-234435
出願日 2006/8/30
出願人 国立大学法人 鹿児島大学
公開番号 特開2008-059865
公開日 2008/3/13
登録番号 特許第4867007号
特許権者 国立大学法人 鹿児島大学
発明の名称 MEMSスイッチ及び携帯無線端末機器
技術分野 情報・通信、電気・電子
機能 機械・部品の製造、その他
適用製品 携帯電話、情報通信機器
目的 この発明は、小型化、駆動電圧の低減化、及びスイッチング動作の高速化を実現可能なMEMSスイッチを提供する。
効果 この発明の方法によれば、可動電極と固定電極との間に印加される駆動電圧が低くても、可動電極と固定電極との間に大きな静電引力を得ることが出来る。従って、可動電極の寸法を小型化できることに加え、スイッチングを高速に行うことも可能になる。小型化、駆動電圧の低減化、及びスイッチング動作の高速化を実現できる。また、このようなMEMSスイッチを携帯無線端末機器に適用するようにしたので、携帯無線端末機器における受信回路の小型化、低電圧化、及びスイッチング動作の高速化が実現できる。
技術概要
従来から、携帯電話端末の受信切り替え用RF−MEMSスイッチが使用されているが、これまでのRF−MEMSスイッチの電極構造では、駆動電圧の低減化と機械強度の間には相反する関係があると言う欠点を有していた。 この発明のMEMSスイッチは、図1に示す様に、2つに分割された可動電極、板バネ、固定電極、基板、固定梁電極からなる静電引力駆動型MEMSスイッチを形成している。この発明の電極構造の特徴は、図2に示されている様な最初は一体的であった固定電極と可動電極を分割した構造としたもので、分割した二つの電極には段差が設けられており、固定電極の低い部分の可動電極との間隔dに対して、固定電極が高い部分の可動電極との間隔は1/2dになる様に形成されている。 板バネの材料は弾性を有する導電材料、例えばアルミニウムの様な金属が使用される。 このRF−MEMSスイッチは、可動電極と固定電極の間に電圧を印加していない状態で図1(a)の状態にある。次に電圧を印加すると、図1(b)の様に静電引力により高い電極部の可動電極が固定電極と接続され、さらに電圧を印加すると図1(c)の様に低部の電極も接続されるスイッチとして動作する。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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