レーザー駆動の小型・高コントラスト・コヒーレントX線発生装置及びその発生方法

開放特許情報番号
L2009001168
開放特許情報登録日
2009/3/6
最新更新日
2015/8/6

基本情報

出願番号 特願2007-122045
出願日 2007/5/7
出願人 独立行政法人日本原子力研究開発機構
公開番号 特開2008-277204
公開日 2008/11/13
登録番号 特許第5388018号
特許権者 国立研究開発法人日本原子力研究開発機構
発明の名称 レーザー駆動の小型・高コントラスト・コヒーレントX線発生装置及びその発生方法
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 レーザー駆動の小型・高コントラスト・コヒーレントX線発生装置
目的 レーザー光のコントラストを改善し、適切なターゲット条件を選ぶことにより、高速電子発生を抑制し、高強度でコヒーレント、高コントラストのX線を発生できる小型のX線源であるレーザー駆動の高コントラスト単色高強度コヒーレントX線発生装置を提供すること、及びこのX線源を用いて明瞭なX線像を撮影可能な撮像装置を提供する。
効果 このX線発生装置は、旧来のレーザープラズマ線発生装置と比較して、高エネルギー電子の制動放射に伴う不要なX線の発生を抑制し、必要なX線をコントラスト良く得ることができるので、X線の発生効率が良い。又、シンクロトロン放射を利用したX線源に比べて装置は大幅に小さく、短パルスのX線が得られる。
技術概要
真空ポンプ2を備えた真空槽1内に、パルス圧縮器4、集光ミラー5、ガス供給装置6、偏向磁石及びレーザー阻止X線透過窓を設け、真空槽を真空ポンプにより真空に保ち、この真空槽内のパルス圧縮器に真空槽外部からレーザー光を導入してパルス圧縮器によりパルス幅をフェトム秒に圧縮した後、集光ミラーによりガス供給装置より発生させるガスジェットターゲットに集光させ、このターゲットの位置をレーザー進行方向に調整することにより高速電子の発生を伴わないX線発生に最適な地点でX線を発生させる、高速電子発生を伴わない、高強度でコヒーレント、高コントラストのX線を発生させる。真空槽1内は、真空ポンプ2により真空に保たれる。この真空槽内に導入されたレーザー光3は、パルス圧縮器4によりパルス幅がフェトム秒に圧縮された後、反射型の集光ミラー5によりガス供給装置6により発生されるガスジェットターゲット7上に集光される。ガスの密度は、この装置及び手法では、ガスジェットターゲットの位置をレーザー進行方向に調整することにより高速電子発生を伴わない集光装置を選択して使用する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 このX線を試料の観察に用いる場合、試料への不要なX線の照射が少ないので、試料への損傷、被爆が少ない。更に、不要なX線を含まないので、X線像のコントラストが良くなり、明瞭な像を得ることができる。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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