出願番号 |
特願2007-151684 |
出願日 |
2007/6/7 |
出願人 |
独立行政法人 宇宙航空研究開発機構 |
公開番号 |
特開2008-306460 |
公開日 |
2008/12/18 |
登録番号 |
特許第5028646号 |
特許権者 |
国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構 |
発明の名称 |
小型発振子 |
技術分野 |
電気・電子 |
機能 |
機械・部品の製造 |
適用製品 |
通信機器、携帯機器、時計、小型発振子 |
目的 |
外部にコンデンサやコイルを必要としない極めて小型の小型発振子の提供。 |
効果 |
小型軽量の小型発振子を得ることができる。特に、外部にコンデンサやコイルを必要としないので、極めて小型の発振子を得ることができる。また、印加電圧を変化させると、発振周波数を変化させることができる。また、製造方法が簡単なので、このような小型発振子を安価に製造することができる。 |
技術概要
 |
この技術では、小型発振子は、基板を備えると共に、基板上に形成したアンカーを備え、アンカーに一端部を固定した、アンカーから延び、基板から浮いた状態の細長い振動部材を備え、また、振動部材を静電引力により引き付けるため、振動部材に沿って設けた駆動電極を備え、電源と駆動電極の間の抵抗を備える。駆動電極に電源から電圧を印加すると、振動部材は静電引力により駆動電極に引き付けられ、振動部材が駆動電極に接触すると電荷を放電し、振動部材は駆動電極から離れることを繰り返し、カンチレバーが自励発振する。この小型発振子においては、振動部材が駆動電極に引き付けられて接触する電圧以上の電圧を駆動電極に印加することが好ましい。駆動電極への充電時間は、振動部材の共振周期より長いことが好ましい。また、振動部材と駆動電極の間には静電容量を形成し、駆動電極に電圧をかけるとき、振動部材と駆動電極の間の電圧は時間経過に従って大きくなることが好ましい。 |
実施実績 |
【無】 |
許諾実績 |
【無】 |
特許権譲渡 |
【否】
|
特許権実施許諾 |
【可】
|