レーザー誘起プラズマ分光分析法における解析方法とその装置

開放特許情報番号
L2009000833
開放特許情報登録日
2009/2/20
最新更新日
2015/10/29

基本情報

出願番号 特願2006-207827
出願日 2006/7/31
出願人 独立行政法人 宇宙航空研究開発機構
公開番号 特開2008-032606
公開日 2008/2/14
登録番号 特許第5229767号
特許権者 国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構
発明の名称 レーザー誘起プラズマ分光分析法における解析方法とその装置
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 レーザー誘起プラズマ分光分析法、航空機エンジン燃焼器
目的 LIPS計測法において、レーザーパルスエネルギーの計測を利用せずに、プラズマそのものの情報から、プラズマ状態を特定できる手法を提示すること、更にはそのことによってコンパクトであるだけでなく精度の良いLIPS計測装置の提供。
効果 本技術によれば、従来装置に必要であったレーザーパルスエネルギーの計測手段が不要となり、コンパクトな構成で試験領域に配置することができる。また、レーザーパルスエネルギー差からではなくプラズマ状態を反映する1つ以上のスペクトルピーク値に基づいてプラズマ状態を判定するものであるから、計測精度が向上する。
技術概要
本技術のLIPS定量計測の解析手法は、プラズマスペクトルにおける1つ以上のスペクトルピーク値に基づいてプラズマ状態を判定し、校正データとして用いる。具体的には、炭化水素系燃料と空気の混合状態の測定において、水素を着目原子としその486nmと656nmのスペクトル線のピーク値の比を算出してプラズマ状態の判定に利用する。即ち、一方の成分量に依存するスペクトル線のピーク値と他方の成分量に依存するスペクトル線のピーク値の比を算出し、異なるスペクトル線のピーク値の2つ比が近い値を示すときのみデータを採用して解析することにより、計測精度を向上させる。尚、計測精度を向上させるためにレーザー集束点に発生するプラズマ核の数が一つのときのみ解析を実施するものとし、レーザー集束点に発生するプラズマのサイズ情報をスペクトル線のピーク値情報と総合することによって、計測対象ガスの温度の計測精度を向上させる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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