酸化セリウム厚膜を用いたガスセンサ素子及びその製造方法

開放特許情報番号
L2009000818
開放特許情報登録日
2009/2/20
最新更新日
2015/9/28

基本情報

出願番号 特願2008-305683
出願日 2008/11/28
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2009-175131
公開日 2009/8/6
登録番号 特許第4958088号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 酸化セリウム厚膜を用いたガスセンサ素子及びその製造方法
技術分野 電気・電子、有機材料、無機材料
機能 材料・素材の製造、機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 ガスセンサ
目的 高次構造を有する酸化セリウムを用いたガスセンサの提供を目的とする。 更に、高速に応答する特性を有し、かつ感度を向上させた高次構造を有するガスセンサ素子、その製造方法及びガスセンサの提供を目的とする。
効果 分散させるのに使用していたビーズミルなどを用いる必要がないため、不純物質の混入の防止が可能となり、高純度のCSCPH微粒子を含む酸化セリウム多孔質膜の調製が可能となる。 膜形成用のペーストが長期安定で、再分散性が良いため、沈殿しても振とうするだけで均一なペーストが得られる。 一次粒子が球状に集合した均一の二次粒子で構成した高次構造の厚膜が形成できる。 CSCPH微粒子を用いることで高次構造を有する厚膜が簡便に得られる。 応答速度が速く、感度が向上した高性能の可燃性ガス応答性のガスセンサを提供できる。
技術概要
ガスセンサ素子は、コアシェル型酸化セリウム高分子ハイブリッド微粒子を熱処理して得られる酸化セリウム多孔質厚膜をセンサ素子として有する。 コアシェル型酸化セリウム高分子ハイブリッド微粒子は、そのコア部分は、酸化セリウムの一次粒子が球状に集合した二次粒子である。 二次粒子の形状は揃っており、その二次粒子表面にシェル部分となる有機高分子物質の層が存在する。 ハイブリッド微粒子の粒径の平均が30nmから200nm、ハイブリッド微粒子の粒径の変動係数が0.25以下である。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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