プラズマ中に存在する活性種の測定装置及び方法

開放特許情報番号
L2009000770
開放特許情報登録日
2009/2/20
最新更新日
2015/9/28

基本情報

出願番号 特願2008-273755
出願日 2008/10/24
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2010-103325
公開日 2010/5/6
登録番号 特許第5229891号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 活性種量測定装置及び方法
技術分野 電気・電子、情報・通信、無機材料
機能 検査・検出、制御・ソフトウェア
適用製品 簡便な操作で実施でき、半導体製造装置、反応槽中のガス分解率の測定等の分野で広く利用される。
目的 プラズマ処理を行う装置その場において、プラズマ処理に必要なガス以外の、製造には不必要なガスや光を導入することなく、真空装置中に存在するプラズマにより生成したイオン、ラジカルなどの活性種の量を計測することのできる装置を提供する。
効果 プラズマが存在する容器内を水晶振動子センサと絶対圧力計のみを用いてプラズマ中の活性種量を求めることができ、また、測定に際して特定の波長の紫外線ランプ等を必要とせず、メンテナンスが容易であり、更に気体組成の変化に対応して即時にその組成を測定することが可能となる。
技術概要
プラズマが発生している反応装置内のガスの物性値に依存する物性依存出力を測定することにより、分子以外の化学種であって、プラズマによって生成されるイオン及びラジカルを含む化学種の量を計測する活性種量測定装置において、物性依存出力は、粘性及び分子量に依存するものである、活性種量測定装置である。尚、物性依存出力を測定する装置は、水晶振動子センサ1を備えており、物性依存出力が既存の分子構成に対する検量線とのズレからプラズマによって生成した活性種の量を計測する。また、プラズマが発生している反応装置内のガスの物性値に依存する物性依存出力を測定することにより、分子以外の化学種であって、プラズマによって生成されるイオン及びラジカルを含む化学種の量を計測する活性種量の測定方法において、物性依存出力は、粘性及び分子量に依存するものである。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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