金属酸化物薄膜の製造方法

開放特許情報番号
L2009000767
開放特許情報登録日
2009/2/20
最新更新日
2015/10/30

基本情報

出願番号 特願2010-534749
出願日 2009/8/28
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 WO2010/047177
公開日 2010/4/29
登録番号 特許第5697085号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 金属酸化物薄膜の製造方法
技術分野 化学・薬品、金属材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 金属酸化物薄膜、高効率デバイス
目的 金属有機化合物を用いた薄膜製造工程より得られる金属酸化物膜の製造法において、金属酸化物ナノ粒子溶液及び金属酸化物ナノ粒子を含む金属有機化合物溶液を用いて加熱、紫外線照射やプラズマを照射することにより、有機材料(例えばPET)基板上に、Y↓2O↓3:EuやCaTiO↓3:Prなどの蛍光体薄膜を直接製造する方法の提供。
効果 従来不可能であった有機を含む基板上に低温かつ低エネルギーの紫外線照射により薄膜を作製出来るようになり、製造効率が良く、大量生産に適した金属酸化物薄膜の製造が可能となる。
技術概要
 
この技術では、化学溶液法を用いて金属酸化物薄膜を製造する方法において、支持体に予め金属酸化物ナノ粒子溶液を塗布した後、焼成又はレーザ照射により金属酸化物薄膜を形成し、さらにこの金属酸化物薄膜上に、金属を含有する先駆体溶液を塗布し、これを(1)加熱処理工程、(2)プラズマ照射工程、(3)紫外線照射工程の少なくとも一つ又は複数の工程を同時に用いることにより、金属及び金属酸化物以外の物質を除去し、金属含有金属酸化物薄膜を形成する。または支持体が分解や溶融しない加熱工程または紫外線照射工程により、一の金属組成及び結晶構造をもつ金属酸化物ナノ粒子及びこのナノ粒子と同等の結晶構造を持ち、かつ異種金属組成の金属酸化物ナノ粒子からなる薄膜を支持体上に形成し、さらにこれらの金属酸化物ナノ粒子の薄膜上に、金属を含有する先駆体溶液を塗布し、これを(1)加熱処理工程、(2)プラズマ照射工程、(3)紫外線照射工程の少なくとも一つ又は複数の工程を同時に用いることにより、金属及び金属酸化物以外の物質を除去し、金属含有金属酸化物薄膜を形成する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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