表面プラズマ発生装置

開放特許情報番号
L2009000163
開放特許情報登録日
2009/1/9
最新更新日
2015/9/25

基本情報

出願番号 特願2008-225001
出願日 2008/9/2
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2010-061919
公開日 2010/3/18
登録番号 特許第5360800号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 表面プラズマ発生装置
技術分野 電気・電子
機能 制御・ソフトウェア
適用製品 表面プラズマ発生装置
目的 電極に印加する電圧の立ち上がり速度を適切に設定することにより、高速の表面プラズマを安定して発生させることができるようにする。
効果 印加電圧の立ち上がり速度を適切な値に設定することにより、低電圧で高速の表面プラズマを安定して発生させることができる。
技術概要
絶縁材を挟んで表面側電極と裏面側電極を設け、両電極間に電圧を印加することにより表面プラズマを発生する表面プラズマ発生装置において、電極に印加する電圧の立ち上がり速度を好ましくは4〜5μs/kVとする。このときの印加電圧はパルス状とすることが印加電圧の立ち上がり速度を所定値に設定するために好ましく、この所定値で立ち上がる三角形波としても良く、そのときにはマイナス側に立ち下がる波形を小さなものに設定しても良い。更に、表面側電極がドーナツ状であると、表面プラズマジェットが表面から垂直に立ち上がるため、印加電圧の立ち上がり速度を適切に設定することが容易となる。図1(b)のドーナツ型表面電極を用いた表面プラズマジェット発生装置に対して、図(c)のパルス状の印加電圧を加える。このパルス状の印加電圧の一部を拡大して示す図(d)のように、この印加電圧は矩形波形状をなし、この波形の印加電圧の立ち上がり速度を図2(c)のように変化させたパルス電圧を印加する。それにより図(e)のように、パルス印加時点t=0から1kVに立ち上がるまでの時間をa〜hのように変化させた。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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