スピン偏極走査電子顕微鏡

開放特許情報番号
L2009000147
開放特許情報登録日
2009/1/9
最新更新日
2010/4/2

基本情報

出願番号 特願2008-218035
出願日 2008/8/27
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2010-054272
公開日 2010/3/11
発明の名称 スピン偏極走査電子顕微鏡
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 スピン偏極走査電子顕微鏡
目的 酸化物磁性体試料の表面浄化の際に、スピン状態が変化しない表面浄化法を備えたスピン偏極走査電子顕微鏡を提供する。
効果 試料の表面のスピン状態に影響を及ぼさずに試料の表面清浄化を行うことができるスピン偏極走査電子顕微鏡を提供することができる。
技術概要
試料表面浄化部は、酸化ガス生成源と、酸化ガス生成源で生成された酸化ガスを流すガス流路と、ガス流路に流れる酸化ガスを外部へ排出する真空ポンプとを具備して、ガス流路の内部の設置部に設置された試料の表面に酸化ガスを拡散させて、試料の表面の吸着物を分解し、スピン分析部にて試料を分析する。試料は、酸化物磁性体である。スピン偏極走査電子顕微鏡1を、仕切弁4を介して接続されたスピン分析部2と試料表面浄化部3とを具備して構成し、特に、酸化物磁性体Aの表面の炭化水素Bを活性酸素32aの化学的な作用によって除去するために、試料表面浄化部3は、アルゴンガス及び酸素ガスの混合ガスを生成する浄化ガス源31と、混合ガス源31から供給された混合ガスに電圧を加えてアルゴン酸素プラズマを発生させ、アルゴン酸素プラズマ内部から活性酸素32aが生成する活性酸素生成源32と、活性酸素32aを流すガス流路33と、ガス流路33内の酸化物磁性体Aを載置する試料ステージ51と、ガス流路33から外部へ活性酸素32aを排出する真空ポンプ34とを具備している。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 表面清浄化後の試料への炭化水素などの吸着物の再吸着を防ぐことができる。また、試料表面浄化部からスピン分析部への搬送が仕切弁を介して行われるため、スピン偏極走査電子顕微鏡内を高真空に維持することが可能となる。
改善効果2 表面清浄化の際に、酸化物磁性体の表面のスピン状態を変化させずに、酸化分解という化学的な反応を用いて酸化物磁性体の表面の吸着物を選択的に除去することができるため、スピン偏極走査電子顕微鏡において酸化物磁性体の鮮明なスピン情報を得ることができる。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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