グラフェン又は超薄膜グラファイトの厚さ検出方法および厚さ検出システム

開放特許情報番号
L2009000132
開放特許情報登録日
2009/1/9
最新更新日
2015/9/25

基本情報

出願番号 特願2008-208965
出願日 2008/8/14
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2010-043987
公開日 2010/2/25
登録番号 特許第5142278号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 グラフェン又は超薄膜グラファイトの厚さ検出方法および厚さ検出システム
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 原子間力顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡
目的 安価かつ容易に導入可能であり、装置スペースも小さく、初心者でも簡単にグラフェン原子薄膜の枚数を再現性よく確定することが可能なグラフェン又は超薄膜グラファイトの厚さ検出方法および厚さ検出システムの提供。
効果 本技術によれば、安価かつ容易に導入可能であり、検査システムの収納スペースも小さくでき、初心者でも簡単にグラフェン原子薄膜の枚数を再現性よく確定することができる。又、従来のものに比べ、格別な検査結果が容易に判断できる程度に高い再現性を有し、経験によらない簡便さおよび人によらない普遍性を有する効果がある。
技術概要
この技術では、単層のグラフェン又はグラフェンを複数層積層した超薄膜グラファイトを設けた基準サンプルとなる基板と計測対象サンプルとなる基板を、所定の色のフィルタを介してそれぞれ撮像し、撮像したそれぞれの画像から所定の色の輝度値に対する出現頻度特性を求め、その出現頻度特性を基板部分の所定の色の輝度値を100として規格化し、両特性を比較できるようにモニタに表示する。好ましくは、規格化した所定の色の輝度値対頻度特性における変化の特徴の異同を判断し、計測対象サンプルにおける1層〜n層(任意層)までの各層の存否を判断する。所定の色は、基板を撮像した画像のコントラスト値および輝度値の変化が大きい色とする。所定の色は、光の3原色の内の1色、2色の混合色および3色の混合色のうちのいずれか1つとする。所定の色は、基板の色に影響を受けずに、単層のグラフェン又はグラフェンを複数層積層した超薄膜グラファイトの層数を所定の色の輝度値に対する出現頻度特性により判断できる色であればどのような色であってもよい。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2018 INPIT