光走査装置

開放特許情報番号
L2009000130
開放特許情報登録日
2009/1/9
最新更新日
2015/9/25

基本情報

出願番号 特願2008-208476
出願日 2008/8/13
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2010-044234
公開日 2010/2/25
登録番号 特許第5004245号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 光走査装置
技術分野 電気・電子
機能 制御・ソフトウェア
適用製品 バーコードリーダ、レーザープリンタ、ヘッドマウントディスプレー
目的 ミラー部の捻れ共振周波数の変化を押さえ、大きな電圧を印加した場合でも電圧に比例したミラー部の走査角度を増加させることができる光走査装置の提供。
効果 本技術は、基板のミラー部への伝播方向と垂直方向Xの曲げたわみを小さくすることにより、ミラー部の捻れ共振周波数の変化を押さえ、大きな電圧を印加した場合でも電圧に比例したミラー部の走査角度を増加させることができるという優れた効果を奏する。
技術概要
この技術では、基板と、基板に連結された捻れ梁部と、捻れ梁部により支持されるミラー部と、基板を振動させる駆動源と、ミラー部に光を投射する光源とを備え、ミラー部は駆動源によって基板に加えられる振動に応じて共振振動し、光源からミラー部に投射される光の反射光の方向がミラー部の振動に応じて変化する光走査装置において、駆動源は、基板と捻れ梁部との連結部から離れた基板の一部に圧電体または磁性体材料からなる薄膜または薄板により形成され、長方形の平面形状を有し、その長辺がミラー部と駆動源を結ぶ方向に平行に配置されている。或いは、駆動源は、基板と捻れ梁部との連結部から離れた基板の一部に圧電体または磁性体材料からなる薄膜または薄板により形成され、短冊状の平面形状を有し、その長辺がミラー部と駆動源を結ぶ方向に平行に配置された個々の駆動源を、ミラー部と駆動源を結ぶ方向と垂直方向に間隔を有して複数配置される。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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