プラズマ装置の供給ガス分解率測定装置及び測定方法

開放特許情報番号
L2009000123
開放特許情報登録日
2009/1/9
最新更新日
2015/9/25

基本情報

出願番号 特願2008-205384
出願日 2008/8/8
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2010-038867
公開日 2010/2/18
登録番号 特許第5093685号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 プラズマ装置の供給ガス分解率測定装置
技術分野 無機材料、有機材料、電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 簡便な操作で実施でき、プラズマ装置を使用した加工や工作、製造を行う各種の製造装置等の分野で広く利用される。
目的 処理に必要なガス以外の、製造には不必要なガスを導入することなく、ガスの種類に左右されず、簡単かつ正確にプラズマガス装置の供給ガスの分解率を測定する装置及び方法を提供する。
効果 熱や光による刺激によって爆発の起こる反応性の高い混合気体でも安全に測定でき、また、測定に際して特定の波長の紫外線ランプ等を必要とせず、メンテナンスが容易であり、更に気体組成の変化に対応して即時にその組成を測定することが可能となる。
技術概要
プラズマ発生前についてプラズマ装置の反応装置3内に供給される供給ガスの物性値に依存する物性依存出力を測定するとともに、プラズマ発生後のプラズマ装置の反応装置内のガスの物性値に依存する物性依存出力を測定して、プラズマ発生前後における物性依存出力の変化を算出する装置と、物性依存出力の変化から供給ガスの分解率を求める装置とを備えた、プラズマ装置の供給ガス分解率測定装置である。尚、物性依存出力の変化を算出する装置は、水晶振動子センサ1を備えており、また、物性依存出力は、粘性及び分子量に依存するものである。更に、プラズマ発生前後について、それぞれのプラズマ装置の反応装置内に存在するガスの物性値に依存する物性依存出力を測定しその変化を検出し、物性依存出力の変化量から供給ガスの分解率を求めることにより、プラズマ装置の供給ガス分解率を測定する。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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