太陽電池用基板の作製方法

開放特許情報番号
L2009000106
開放特許情報登録日
2009/1/9
最新更新日
2015/9/25

基本情報

出願番号 特願2008-194390
出願日 2008/7/29
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2009-158915
公開日 2009/7/16
登録番号 特許第4986170号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 太陽電池用基板の作製方法
技術分野 電気・電子、無機材料
機能 機械・部品の製造、その他
適用製品 太陽電池用基板
目的 光閉じ込め効果が十分で、制御性がよく低コストな太陽電池用基板の作製方法を提供する。
効果 金属基板表面に制御性よく周期的で連続した凹部構造を形成することができるため光閉じ込め効果が十分な太陽電池が得られる。
技術概要
平坦度の高いアルミニウム基板もしくは表面にアルミニウム薄膜を形成した基板を用意する(図A)。この時の平坦度は、作製しようとする凹部構造の高さよりも小さいことが望ましい。このアルミニウム基板を、濃度1〜10%のリン酸水溶液中、200V程度の定電圧条件で陽極酸化処理する。望ましくは温度を10℃以下に保つ。陽極酸化により、アルミニウム基板表面に、多数の孔が規則正しくハニカム状に並んだ酸化アルミニウム膜が形成される(図B)。周期0.4〜0.5ミクロンのハニカム状構造が得られる。同時に、酸化アルミニウム膜の下のアルミニウム基板にもハニカム状に配置された凹部構造が形成される。次に、酸化アルミニウム膜を濃度10〜20%程度のリン酸水溶液によりエッチングし除去する。凹部がハニカム状に配置された凹部構造を持つアルミニウム基板が得られる(図C)。その後、得られた凹部構造を持つアルミニウム基板上に、周知の製膜方法により太陽電池を形成する(図D)。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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