脱溶媒機能付き誘導結合プラズマトーチ

開放特許情報番号
L2009000072
開放特許情報登録日
2009/1/9
最新更新日
2015/9/25

基本情報

出願番号 特願2008-173196
出願日 2008/7/2
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2010-014465
公開日 2010/1/21
登録番号 特許第4982900号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 脱溶媒機能付き誘導結合プラズマトーチ
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 脱溶媒機能付き誘導結合プラズマトーチ
目的 小型で、分析信号の応答が速く、チューブへの付着による感度低下とメモリー効果が生じない脱溶媒誘導結合プラズマトーチを提供する。
効果 誘導結合プラズマトーチまで運ばれてくる間にある程度の溶媒が蒸発して粒径が小さくなった液滴のみを対象に脱溶媒を行うため、分析感度の低下やメモリー効果が殆ど生じない。また、誘導結合プラズマトーチまで運ばれてくる粒径が小さい液滴は、比表面積が大きいため体積当たりの蒸発速度が大きいこと、また、誘導結合プラズマトーチまで運ばれてくる間に既に蒸発している溶媒の割合が大きいため、溶媒を効率的に除去することが可能である。従って、溶媒を除去するための透過膜サイズを小さくすることができる。
技術概要
図1(a)はインジェクターチューブが溶媒蒸気透過材から形成された誘導結合プラズマトーチの概略図、(b)は多孔性インジェクターチューブの内側に管状透過膜を密着させた誘導結合プラズマトーチの概略図である。キャリヤーガス中の溶媒蒸気は、管状透過膜4を透過して補助ガスに混入され、最終的にプラズマに導入される。これらのトーチにおいては、キャリヤーガスがインジェクターチューブを通過するうちに溶媒蒸気が管状透過膜4を透過するため、キャリヤーガス中の溶媒蒸気の分圧が減少し、試料液滴の表面から溶媒の蒸発が促進され、液滴粒径は減少する。プラズマ中にこれらの液滴が導入されると溶媒は急速に蒸発、分解されるが、液滴粒径が小さいと、それに含まれる溶媒分子数が少なくなるため、例えば、溶媒が水の場合、分析対象元素と水から生成する酸素との反応確率が小さくなり、酸化物の生成が抑えられる。図2(a)は溶媒蒸気を減圧して排気するタイプの誘導結合プラズマトーチの概略図、(b)は(a)のa−a線での断面図、(c)は排気用流路がV字状の溝である場合の(a)のa−a線での断面図、である。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【改善】
改善効果1 脱溶媒されて粒径が小さくなった液滴、或いは完全に脱溶媒されて固形微粒子となったものは、プラズマ中で効率よく分解、原子化、イオン化が起こるため、分析感度の向上をもたらす。また、溶媒が除去されるため、例えば水溶液試料においては水分子のプラズマへの導入量が減少し、結果として、分析対象元素の酸化物イオンの割合が減少する。
改善効果2 酸化物イオンは、例えば、ArOのFeへの干渉、軽希土類元素酸化物の重希土類元素への干渉等、誘導結合プラズマ質量分析法において重大な妨害成分となるため、これを低減することは、妨害の少ない分析が可能となることを意味する。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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