| 出願番号 |
特願2006-236598 |
| 出願日 |
2006/8/31 |
| 出願人 |
国立大学法人静岡大学 |
| 公開番号 |
特開2008-057011 |
| 公開日 |
2008/3/13 |
| 登録番号 |
特許第4862158号 |
| 特許権者 |
国立大学法人静岡大学 |
| 発明の名称 |
成膜装置及び成膜方法 |
| 技術分野 |
金属材料 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
金属膜の成膜、バイオ試料 |
| 目的 |
液体の種類に限定されずに、容易且つ確実に液中で金属膜を成膜することができる共に、微小物質等の試料の固定に応用することができる金属膜の成膜装置及び成膜方法の提供。 |
| 効果 |
本技術によれば、液体の種類に関係なく成膜を行えるので、汎用性が高く、様々な分野への応用を期待することができる。また、単に液中環境にするだけで成膜を行うことができるので、低コスト化及び作業性の容易化を図ることができる。 |
技術概要
 |
この技術は、液中にてＩＴＯガラス上に金属膜を成膜する装置であって、ＩＴＯガラス（被成膜基板）上に純水（液体）を介在させた状態で対向配置され、対向面に予め金属層が形成されたカバーガラス（対向基板）と、ＩＴＯガラスと金属層との間に所定電圧値以上の電圧を印加して、金属層から金微粒子（金属微粒子）をＩＴＯガラスに向けて電気泳動により移動させると共に、金微粒子をＩＴＯガラス上に堆積させることで金属膜を成膜する。ここで、ＩＴＯガラス及びカバーガラスは、架台によって微小な隙間を空けた状態でそれぞれ支持されており、ＩＴＯガラスとカバーガラスとの間に純水が表面張力等によって保持されている。なお、ＩＴＯ基板とカバーガラスとの間に塩化ビニル薄膜（厚さが約２０μｍ〜５０μｍ）が形成されており、塩化ビニル薄膜７によって純水の周囲を囲んでいる。また、金属層は、予めカバーガラスの対向面に金（Ａｕ）をスパッタ法によって形成したものである。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【可】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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