バルク結晶の製造方法及び試料の測定方法

開放特許情報番号
L2008005897
開放特許情報登録日
2008/12/5
最新更新日
2008/12/5

基本情報

出願番号 特願2006-229055
出願日 2006/8/25
出願人 国立大学法人静岡大学
公開番号 特開2008-050216
公開日 2008/3/6
発明の名称 バルク結晶の製造方法及び試料の測定方法
技術分野 無機材料
機能 検査・検出
適用製品 多元素から構成されるバルク結晶、各種デバイス基板材料
目的 容器の材質に制限されることなく、均一組成を有するバルク結晶を任意の組成比で成長させることができるバルク結晶の製造方法の提供。
効果 本技術は、多元素から構成されるバルク結晶を製造する際に、その構成元素の組成比を制御することによって、格子定数や発光受光の波長を制御できるため、各種デバイスの基板材料となるバルク結晶を製造する際に非常に有効である。
技術概要
この技術では、結晶成長中に熱パルスを所定の周期で加えることにより、不純物の濃度縞を結晶内に形成し、この濃度縞の位置及び間隔から、均一組成を有するバルク結晶を任意の組成比で成長させるために必要な温度保持時間、結晶成長速度、温度勾配を求める。そして、均一組成を有するバルク結晶を成長させる際は、成長させる結晶の組成比が目的の値となるまで所定時間温度を保持した後に、目的の組成比に対応した結晶成長速度と温度勾配との積から求まる温度降下速度に従って加熱炉内の温度を下げる、又は、目的の組成比に対応した結晶成長速度に応じた移動速度で容器を低温側に相対移動させることによって、結晶成長界面の温度を一定に保つようにする。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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