マイクロ波プラズマ発生装置

開放特許情報番号
L2008005693
開放特許情報登録日
2008/11/14
最新更新日
2008/11/14

基本情報

出願番号 特願2006-083677
出願日 2006/3/24
出願人 国立大学法人静岡大学
公開番号 特開2007-258093
公開日 2007/10/4
発明の名称 マイクロ波プラズマ発生装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 マイクロ波プラズマ発生装置
目的 パワー増加に伴う密度ジャンプの抑制、大面積化、均一化、プラズマ放電の熱的安定化及び大面積表面波と大容積体積波プラズマの発生をはかる。
効果 プラズマ放電領域も直径50cmにわたるプラズマを実現でき、またマイクロ波パワーの増加に伴い直線的に増加するプラズマ密度特性を有するプラズマ生成することができる。装置の口径にかかわらず真空窓を小さくとれる利点があり、コストパフォーマンス、装置保守の面でも飛躍的に改善される。
技術概要
マイクロ波プラズマ発生装置は、励起マイクロ波を発生するマイクロ波源、プラズマガス源、プラズマガス源からガスが供給されるプラズマ発生用の真空容器、この容器内に励起用のマイクロ波を導入する導波管を備える。さらに、この導波管に装着された第1導体板と、第1導体板に対向して配置され、マイクロ波を真空容器内に放出する第2導体板とからなる共振空洞を形成する円筒型空洞共振器を備える。また、円筒型空洞共振器の第2導体板に中心部を含む複数個の開口孔を設け、これに石英板を配設する。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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