光硬化性樹脂の微細加工方法及び装置

開放特許情報番号
L2008005573
開放特許情報登録日
2008/10/31
最新更新日
2011/9/9

基本情報

出願番号 特願2005-306214
出願日 2005/10/20
出願人 国立大学法人静岡大学
公開番号 特開2007-112021
公開日 2007/5/10
登録番号 特許第4797165号
特許権者 国立大学法人静岡大学
発明の名称 光硬化性樹脂の微細加工方法及び装置
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 光硬化性樹脂の微細加工装置
目的 走査型シェアフォース顕微鏡とマイクロピペットプローブの組み合わせを用いて、液体状態の光硬化性樹脂をマイクロピペットプローブ内に充填させ、マイクロピペットプローブの先端から透明な基板の表面上の所定の位置に滴下し、その後、この滴下した光硬化性樹脂液の部分をレーザ光で照射させることで樹脂状態に硬化させ、透明な基板の表面上に適宜所望の形状の光硬化性樹脂の堆積物を形成することができる微細加工の方法および装置を提供する。
効果 レーザ光を照射して樹脂状態に硬化させる際に全反射する角度で照射することによって、透過光や散乱光を防ぐことができると同時に、発生するエバネッセント光を利用することで滴下した光硬化性樹脂液を硬化させることが可能となる。また、透明な基板の表面上に堆積した光硬化性樹脂の形成状況を観察することが可能となる。
技術概要
図1は光硬化性樹脂の微細加工をするためのマイクロピペットプローブを備える走査型シェアフォース顕微鏡の構成図である。図1には、光硬化性樹脂の微細加工をするために新たに励起用レーザ光硬化装置が追加されて内蔵されている。先端が開口した中空のマイクロピペットプローブ12を備えた走査型シェアフォース顕微鏡を用い、マイクロピペットプローブ12の内部に液状の光硬化性樹脂を充填し、マイクロピペットプローブ12の先端を透明な基板18の表面上の所定の位置に接触させ、透明な基板18の表面上に液状の光硬化性樹脂を所定の量だけ滴下させ、この滴下した光硬化性樹脂液の部分に励起用レーザ光54を照射して滴下した光硬化性樹脂液の部分を硬化させることで、透明な基板18の表面上に光硬化性樹脂の堆積物を形成する。図2は走査型シェアフォース顕微鏡の動作原理を示す説明図である。図3は透明な基板の表面上に滴下された光硬化性樹脂液を硬化するための原理を示す説明図である。図4は光硬化性樹脂の微細加工によって、ガラス基板上に1ドットの堆積加工を施したものについての取得画像のイメージとこの画像中のラインに沿ったドットの高さ変化を示している。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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