カーボンナノチューブの製造方法および装置

開放特許情報番号
L2008005558
開放特許情報登録日
2008/10/31
最新更新日
2008/10/31

基本情報

出願番号 特願2005-082385
出願日 2005/3/22
出願人 国立大学法人静岡大学
公開番号 特開2006-265006
公開日 2006/10/5
発明の名称 カーボンナノチューブの製造方法および装置
技術分野 化学・薬品、機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 カーボンナノチューブの製造装置
目的 触媒として金属炭素複合ナノクラスターを用いることにより、カーボンナノチューブ(CNT)作製の細線化を実現する方法および装置を提供する。
効果 基板上にナノクラスター触媒を空間制御配置し、プラズマCVDにより垂直配向CNTの作製が可能になる。さらに触媒ナノクラスターのサイズを制御することにより、CNTの直径を希望のサイズで、細線化したものを作製することが可能となる。
技術概要
金属炭素複合クラスターを用いて、ガス雰囲気中で、直流アーク放電により、カーボンナノチューブを製造するカーボンナノチューブの製造方法である。また、真空容器内に金属炭素粉末とグラファイトセメンとを先端部に埋め込んだグラファイトロッドを配設し、ヘリウム/メタン混合ガスを供給し、直流アーク放電により、カーボンナノチューブを製造するカーボンナノチューブの製造装置である。また、カーボンナノチューブの製造装置において、パルス波形マイクロ波電源の使用により、パルス変調動作できるようにしたプラズマ発生装置を設ける。図1(a)、(b)は、カーボンナノチューブ製造方法に使用する装置を概略的に示し、図1(a)に示されるように、直径24cm、高さ20cmの円筒形真空容器4を用い、電極1に保持される、パウダー状のニッケルを触媒金属として埋め込んだ直径10mmのグラファイトロッド3間に電流密度50〜200A/cm↑2を流し、圧力200Torrのヘリウム/メタン混合ガスを封じきり雰囲気中で放電させて、クラスターを作製する。図1(b)に示されるように、グラファイトロッド3にパウダー状のニッケル、炭素及びグラファイトセメント2を埋め込んでいる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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