走査型プローブ顕微鏡

開放特許情報番号
L2008005497
開放特許情報登録日
2008/10/24
最新更新日
2015/11/11

基本情報

出願番号 特願2007-064584
出願日 2007/3/14
出願人 独立行政法人科学技術振興機構
公開番号 特開2008-224477
公開日 2008/9/25
登録番号 特許第4857157号
特許権者 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 走査型プローブ顕微鏡
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 走査型プローブ顕微鏡
目的 走査型プローブ顕微鏡を用いての電場変調分光測定を再現性良く行なう。
効果 変位電流を利用した測定を行なうので、トンネル電流を利用したときのように試料表面や探針の状態等の影響をその測定結果が敏感に受けてしまうことはほとんど無く、その面において、測定の再現性(信頼性)を確保できる。測定の信頼性が高いことから、トンネル電流のときのように波長掃引を何度も行なう必要はなく、その分、測定時間を短縮できる。
技術概要
試料に対峙するように配置される探針と、試料に光を照射する光照射手段と、所定の変調周波数で試料の電場を変調させるための電場変調手段と、変調周波数として、試料に変位電流が発生するような周波数を設定する変調周波数設定手段と、電場変調手段からの信号と同期を取りながら変位電流を検出して試料を測定する試料測定手段と、を備えた走査型プローブ顕微鏡である。バンド間遷移を起こす光が光照射手段3により試料Aに連続的に照射される。また、バイアス電源40により試料Aと探針2との間にバイアス電圧が印加され、そのバイアス電圧は変調器41及び変調周波数設定手段5によって変調される。これにより、試料Aには変位電流Idが発生するが、この変位電流Idの変化量を光照射手段3の光の波長の関数として測定することによりスペクトルを得ることができる。この方法では、変位電流を利用しているが、試料表面や探針2の状態の影響や探針−試料間距離の変動に伴って測定結果が変動することはトンネル電流を利用する場合に比べて非常に少なく、その結果、走査型プローブ顕微鏡を用いての電場変調分光測定を再現性良く行なうことができる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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