精密ポジショナー

開放特許情報番号
L2008005136
開放特許情報登録日
2008/9/26
最新更新日
2015/8/20

基本情報

出願番号 特願2007-035571
出願日 2007/2/16
出願人 独立行政法人情報通信研究機構
公開番号 特開2008-198578
公開日 2008/8/28
登録番号 特許第4461241号
特許権者 国立研究開発法人情報通信研究機構
発明の名称 精密ポジショナー
技術分野 電気・電子、機械・加工
機能 検査・検出、制御・ソフトウェア、材料・素材の製造
適用製品 プローブ顕微鏡
目的 基板の表面形状を把握するとともに、基板表面を観測するプローブ顕微鏡のプローブ先端の軌跡を把握し、基板表面とプローブ先端との相対位置を3次元的に制御する。
効果 基板表面の観測が容易になるだけでなく、基板表面とプローブの衝突が回避される。
技術概要
3次元の観測対象(基板表面など)を観測する装置の特定部位(プローブ顕微鏡のプローブ先端など)を精密に制御するために、観測対象の3次元情報を取得し、さらに特定部位の軌跡情報を取得する。これら2種のデータを用いて、観測対象と特定部位との3次元位置関係を定める。この結果に基づいて特定部位を移動させるステッピングモータ、アクチュエータ等を駆動させる。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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