ソリューションプラズマ放電装置

開放特許情報番号
L2008005127
開放特許情報登録日
2008/9/26
最新更新日
2015/9/25

基本情報

出願番号 特願2008-169374
出願日 2008/6/27
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2010-009993
公開日 2010/1/14
登録番号 特許第5083825号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 液体中プラズマ放電装置
技術分野 化学・薬品、電気・電子、その他
機能 検査・検出、機械・部品の製造、その他
適用製品 分析装置、センサ
目的 この発明は、ソリューションプラズマ放電において放電装置間の距離あたりの電圧を低く抑え、安定したプラズマ状態を維持することができるプラズマ装置を提供する。
効果 この発明の方法によれば、2つの放電電極の上部に配置された基板を備え、この基板はその下面に、2つの放電電極間の放電により発生した気泡を蓄える凹部を有し、2つの放電電極の少なくとも一部は、凹部に囲まれた空間内に配置されているので、ソリューションプラズマ放電において放電電極間の距離あたりの電圧を低く抑え、プラズマ状態を安定に維持することが出来る。そのためプラズマによる発熱、電磁波ノイズ、及びプラズマ発光の輝度を減少させることが出来る。
技術概要
ソリューションプラズマを用いると、様々な化学反応を促進することができるが、そのプラズマ状態を維持するために、プローブ測定法またはスラブ光導波路分光法が必要になる。しかし、これらの方法には安全性及び制御性の点が問題であった。 この発明のソリューションプラズマ放電装置は、放電電極の上部に位置する基板に、液体中のプラズマにより発生した気泡を蓄える凹部を備え、凹部に溜まった気泡中でプラズマ放電をさせることにより、放電電極間の距離を長くまたは放電電極間の印加電圧を低くできるので、放電電極あたりの電圧を低く抑え、安定したプラズマを維持することができる。基板はシリコンゴム等で形成され、凹部は耐熱性、絶縁性のあるセラミックスで形成されている。放電電極間距離は、凹部に向って広がるように配置され、放電電極の少なくとも1つは、放電中に電極間距離を広げられる様に位置を動かすことが出来る。また液体を加熱し気泡を発生させる加熱装置と、気泡を上記凹部へ導く整流部材を備えている。この放電電極をこの様な構造にすることによって安定したプラズマ状態を維持することが出来るものである。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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