圧電素子

開放特許情報番号
L2008005100
開放特許情報登録日
2008/9/26
最新更新日
2015/9/25

基本情報

出願番号 特願2008-154059
出願日 2008/6/12
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2009-302233
公開日 2009/12/24
登録番号 特許第5196552号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 圧電素子
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 圧電素子
目的 高温領域にて使用可能な圧電素子を提供するために、高温領域において、時定数が向上した圧電素子を提供する。
効果 この圧電素子は、第1の電極および圧電体の間、並びに、第2の電極および圧電体の間のうち少なくとも一方の間に誘電体が積層され、誘電体の静電容量は、圧電体の静電容量以下であり、誘電体の時定数は、圧電体の時定数よりも大きい。それゆえ、圧電体および電極の間にこの特性を有する誘電体を備えているので、高温領域における時定数が向上した圧電素子を提供できる。
技術概要
図1は圧電素子を示す断面図、図2は擬似AE検出実験装置を用いた圧電素子の評価実験による検出電圧の波形を示すグラフ、である。圧電素子10は、基板1上に電極(第1の電極)2aが形成され、さらに、薄膜圧電体(圧電体)3、誘電体4および電極(第2の電極)2bの順で各層が形成される。誘電体4は、薄膜圧電体3および電極2bの間に形成される。誘電体4は、電極2aおよび薄膜圧電体3の間、並びに、電極2bおよび薄膜圧電体3の間のうち少なくとも一方の間に積層されていればよく、この構成に代えて、電極2bおよび薄膜圧電体3の間に積層してもよい。誘電体4はその静電容量が薄膜圧電体3の静電容量以下である。すなわち、両静電容量は同一の値であってもよい。さらに、誘電体4の静電容量は、薄膜圧電体3の静電容量の1/10以下であることがより好ましい。また、誘電体4の時定数は、薄膜圧電体3の時定数よりも大きい値である。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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