透明層の厚さ測定方法及び測定装置

開放特許情報番号
L2008005010
開放特許情報登録日
2008/9/19
最新更新日
2012/3/16

基本情報

出願番号 特願2006-348834
出願日 2006/12/26
出願人 国立大学法人金沢大学
公開番号 特開2008-157834
公開日 2008/7/10
登録番号 特許第4918679号
特許権者 国立大学法人金沢大学
発明の名称 透明層の厚さ測定方法及び測定装置
技術分野 その他
機能 検査・検出
適用製品 透明層の厚さ測定装置
目的 光の干渉現象によらずに、膜厚を測定する方法及び装置を提供する。
効果 第2の撮像データからは境界面の位置を判定できるとともに、第1の撮像データと第2の撮像データとの差から表面の位置を判定できるため、表面の位置データと境界面の位置データとから、透明層の厚さを計測することができる。
技術概要
S偏光成分とP偏光成分とによって表面での反射率の大きさが異なる角度でレーザ光を透明層に入射し、第1の反射光と第2の反射光とを受光部にて撮像し、S偏光成分によるレーザ光の反射光を撮像した第1の撮像データと、P偏光成分によるレーザ光の反射光を撮像した第2の撮像データとを画像データ記録部に記憶し、第1の撮像データと第2の撮像データとの差から表面位置判定部にて表面の位置を判定し、第2の撮像データから境界面位置判定部にて境界面の位置を判定し、表面位置判定部にて判定した表面の位置データと、境界面位置判定部にて判定した前記境界面の位置データとから、透明層の厚さを計測する。透明層は透明体からなる塗装膜であり、不透明層はアルミ粉末などからなるメタリック層である。反射が少ない透明層1と、透明層1との境界面において反射する不透明層3とが積層され、透明層1の表面に向けてレーザ光を照射し、表面での第1の反射光2Xと、境界面での第2の反射光3Xとから透明層1の厚みを計測する。
イメージ図
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 不透明層が金属粉末を塗布したようなメタリック層のように、境界面が乱反射を生じるような測定物においても、透明層の厚さを正確に計測することができる。更に、非接触にて計測を行うことができるため、透明層が半乾きの状態で測定を行うことができる。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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