超音波干渉縞を用いた形状解析方法

開放特許情報番号
L2008004861
開放特許情報登録日
2008/9/12
最新更新日
2010/1/8

基本情報

出願番号 特願2004-209468
出願日 2004/7/16
出願人 国立大学法人埼玉大学
公開番号 特開2006-029991
公開日 2006/2/2
登録番号 特許第4392497号
特許権者 国立大学法人埼玉大学
発明の名称 超音波干渉縞を用いた形状解析方法
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 超音波干渉縞を用いた形状解析装置
目的 参照波を用いずに生成した超音波の干渉縞を利用して、物体の表面や背面、あるいは、物体内部の空隙などの形状を解析する方法を提供し、また、その方法を実施する装置を提供する。
効果 被検体の形状の解析に超音波干渉縞を利用しているが、参照波を形成すること無く、超音波干渉縞を得ているため、複雑な装置や複雑な調整手順を必要とせず、容易に実施できる。また、この形状解析方法では、超音波が直接当たる被検体の表面だけでなく、被検体の背面形状や、被検体内部の空隙形状、異相間の界面形状などを非破壊で解析することができる。また、この装置は、こうした形状解析方法を実施できる。
技術概要
形状解析装置被検体に超音波を照射し、被検体からの反射波を受信する超音波探触子と、超音波探触子が受信した反射波の信号に基づいて、被検体の形状の等高線を表す超音波干渉縞が含まれた音響画像を表示する表示手段と、被検体を傾ける傾斜手段とを備える。形状解析方法は、超音波探触子から被検体に超音波を照射し、被検体からの反射波に基づいて音響画像を表示するとき、被検体の形状の等高線を表す超音波干渉縞を併せて表示する。超音波干渉縞により、被検体の内部に存在する空隙の表面形状及び異相間の界面形状の等高線を表示する。被検体を傾けたときの超音波干渉縞の縞間隔の変化から、形状の方向性を識別する。図(a)は、被検体21の平坦な表面から0.5mmの深さに超音波集束位置を設定したときの音響画像であり、(b)は同表面から1.0mmの深さに、また、(c)は同表面から2.0mmの深さに超音波集束位置を設定したときの音響画像である。一方、(d)は、この銅板を裏返し、窪みを形成した面を上に向けてモアレ法で撮影した画像を左右反転して示している。音響画像には、モアレ縞に一致する縞模様が現れており、被検体21の背面形状の等高線が表示されている。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2018 INPIT