顕微鏡及び表面観察方法

開放特許情報番号
L2008004860
開放特許情報登録日
2008/9/12
最新更新日
2008/9/12

基本情報

出願番号 特願2003-004364
出願日 2003/1/10
出願人 国立大学法人埼玉大学
公開番号 特開2004-219148
公開日 2004/8/5
登録番号 特許第3837531号
特許権者 国立大学法人埼玉大学
発明の名称 顕微鏡及び表面観察方法
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 顕微鏡
目的 マイクロメータ領域以上での表面観察及び表面改質などを、簡易かつ短時間で行うことができる装置及び方法を提供する。
効果 マイクロメータ領域以上での表面観察及び表面改質などを、簡易かつ短時間で行うことができるようになる。
技術概要
顕微鏡は、所定の基板上11において複数のプローブ深針13を立設してなるマイクロプラズマアレイ10と、マイクロプラズマアレイ10の近傍にプラズマ生成ガスを導入するためのガス導入手段と、マイクロプラズマアレイ10に対して高周波を印加することにより、プラズマ生成ガスをプラズマ化してプラズマジェットを生成するための高周波印加手段と、マイクロプラズマアレイ10と観察すべき試料Xとの間に生成されたプラズマ誘導電流を計測するための誘導電流計測手段とを具える。複数のプローブ探針13は、基板上11において、マイクロプラズマアレイ10に対して高周波を導入するための導電板を介して設ける。プローブ探針の内径は、100μm以下である。プローブ探針の立設密度は、100×100個/mm↑2〜1000×1000個/mm↑2である。プラズマ探針近傍にプラズマ生成ガスを導入するとともに、プラズマ探針に高周波を印加することにより、プラズマジェットを生成し、所定の試料へ向けて発射する工程と、プラズマ探針と試料との間に生成したプラズマ誘導電流を計測し、プラズマ誘導電流の大きさから、試料表面における凹凸を観察する工程と、を具える表面観察方法である。
イメージ図
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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