表面粗さ評価方法および評価装置

開放特許情報番号
L2008004794
開放特許情報登録日
2008/9/5
最新更新日
2013/5/22

基本情報

出願番号 特願2006-262605
出願日 2006/9/27
出願人 国立大学法人長岡技術科学大学
公開番号 特開2008-082856
公開日 2008/4/10
発明の名称 表面粗さ評価方法
技術分野 その他
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 表面粗さ評価装置
目的 数μm〜数百μm程度の表面粗さを有する表面の粗さを、超音波散乱を利用してインプロセスで評価可能な表面粗さ評価方法および評価装置を提供する。
効果 この表面粗さ評価方法および評価装置によれば、製造工程におけるリアルタイムでの表面粗さの評価が可能となる。また、数μm〜数百μm程度の表面粗さを有する表面の粗さの評価に適していることから、機械加工中における工具の磨耗状態や工作機械の状態監視に利用できる。さらに、超音波を反射する表面であれば粗さの評価をすることができることから、種々の表面粗さの評価に利用することができる。
技術概要
図1はランダムな粗さをもつ評価対象表面上に平面波が入射したときのエネルギー散乱の様子を模式的に示したものである。図2は、表面粗さ評価方法および評価装置の原理を示す略図である。評価対象物の表面10に対し、トランスミッター11である空気超音波送信子からパルス超音波12が斜入射される。実験結果によればパルス超音波12の入射角θ1は評価精度に大きな影響を与えるものではなく、トランスミッター11やセンサ13を装着し易い30度〜60度程度の範囲に設定することができる。トランスミッター11はパルス超音波発生器14により駆動される。ここで、反射波15のコヒーレント成分は、反射角θ2と入射角θ1が同一となる性質があることから、センサ13の装着は反射角θ2が入射角θ1と同一となるように固定される。センサ13により検出されたコヒーレント成分の強度はアンプ16を経てスペクトラムアナライザ17へと送られ、さらに演算装置18に送られる。図3は、表面粗さ評価方法により二乗平均平方根粗さRqを求める場合のフローチャート図である。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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