| 出願番号 |
特願2005-163140 |
| 出願日 |
2005/6/2 |
| 出願人 |
国立大学法人長岡技術科学大学 |
| 公開番号 |
特開2006-337769 |
| 公開日 |
2006/12/14 |
| 登録番号 |
特許第4649609号 |
| 特許権者 |
国立大学法人長岡技術科学大学 |
| 発明の名称 |
光回折格子素子の製造方法 |
| 技術分野 |
電気・電子 |
| 機能 |
材料・素材の製造 |
| 適用製品 |
光回折格子素子 |
| 目的 |
制御された４分岐以上の多分岐光回折格子素子を提供する。 |
| 効果 |
複数の周期を持つ格子を多重に形成することによって高次の回折光強度も制御可能な高機能光回折格子素子を提供できる。周期構造を高調波、さらには第２高調波にすることによって特に±１次回折光だけでなく±２次回折光を制御可能な高機能光回折格子素子を提供できる。 |
技術概要
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屈折率もしくは表面形状が周期的に変調された回折格子素子であって、複数の周期を持つ格子が多重に形成されている。光回折格子素子に含まれる周期構造として、基本波周期成分及びその高調波周期成分が同一素子内に含まれている。高調波周期成分が第２高調波である。図２に示す３光束干渉露光法によって、回折格子を形成すると、その断面は、図１に示す形態となり、屈折率変調及び形状変調で決まる位相変調の、回折格子ベクトル方向の断面形状が、高さの異なる２種類からなり、それが交互に現れ、図１に定義する形状パラメーターにおいて、Ｔ↓１がＴ↓２の０．８〜１．２倍、ｗ↓２がｗ↓１の１．１〜１．６倍、ｈ↓２がｈ↓１の２．０〜３．０倍の範囲となっている（即ち、高さが低い方のピーク形状の頂点部同士の間隔Ｔ↓１が高さが高い方のピーク形状の頂点部同士の間隔Ｔ↓２の０．８〜１．２倍、高さが高い方のピーク形状の幅ｗ↓２が高さが低い方のピーク形状の幅ｗ↓１の１．１〜１．６倍、高さが高い方のピーク形状の高さｈ↓２が高さが低い方のピーク形状の高さｈ↓１の２．０〜３．０倍となっている。） |
| イメージ図 |
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| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)
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