出願番号 |
特願2005-088457 |
出願日 |
2005/3/25 |
出願人 |
国立大学法人長岡技術科学大学 |
公開番号 |
特開2006-265679 |
公開日 |
2006/10/5 |
登録番号 |
特許第4701386号 |
特許権者 |
国立大学法人長岡技術科学大学 |
発明の名称 |
高硬度材料 |
技術分野 |
金属材料 |
機能 |
材料・素材の製造 |
適用製品 |
高硬度材料 |
目的 |
高速での乾式切削にも耐え得る、高硬度で耐酸化性等に優れた硬質被膜を基材表面に形成した、切削工具や金型、摺動部材等として好適に用いられる、高硬度材料を提供する。 |
効果 |
高速での乾式切削にも耐え得る、ビッカース硬さが2500〜4000という、高硬度で耐酸化性等に優れた硬質被膜を基材表面に形成した、高硬度材料を得ることができる。本発明の高硬度材料は、切削工具や金型、摺動部材等として幅広い分野に利用できるものであり、実用的価値は極めて高いものである。 |
技術概要
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基材表面に、Mgを含有するCrN型の窒化クロムからなる岩塩型結晶構造を有しビッカース硬さが2500〜4000の硬質被膜を形成して高硬度材料を構成する。硬質被膜中には、さらに酸素を含有する。硬質被膜中のMgの含有量は、硬質被膜を形成する全元素を基準として0.1〜30原子%で、Mg原子対酸素原子の比が1:0〜1:1となるように構成する。硬質被膜の格子定数は、0.410〜0.420nmである。硬質被膜の膜厚は、0.1〜50μmである。製造装置1は、レーザー発生装置2、発生したレーザーを集光するレンズ3及びウィンドウ4を備えた円筒形のチャンバー5、チャンバー5を減圧にするポンプ6、及びチャンバー5、置換ガス供給源7により構成する。チャンバー5内に、基材8及び基材表面に硬質被膜を形成する材料となるターゲット9を対向させて配置する。ポンプ6により減圧にし、置換ガス供給源7からアンモニアガスを供給してチャンバー5内を置換する。レーザー発生源2から発生させたレーザーをレンズ3で集光し、ウインドウ4を通じてターゲット9に照射し、基材8上に薄膜を堆積して、硬質材料を形成する。 |
実施実績 |
【無】 |
許諾実績 |
【無】 |
特許権譲渡 |
【否】
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特許権実施許諾 |
【可】
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