超音波を利用した平板状物体の非接触支持方法及び装置

開放特許情報番号
L2008004618
開放特許情報登録日
2008/8/22
最新更新日
2009/7/3

基本情報

出願番号 特願2007-302847
出願日 2007/11/22
出願人 国立大学法人埼玉大学
公開番号 特開2009-130093
公開日 2009/6/11
発明の名称 超音波を利用した平板状物体の非接触支持方法及び装置
技術分野 機械・加工、輸送
機能 その他
適用製品 超音波を利用した平板状物体の非接触支持装置
目的 平板状物体を支持機構の下側で非接触支持することができ、また、支持機構と平板状物体との位置ずれを自動的に補正することができる平板状物体の非接触支持方法を提供する。
効果 空気中において、支持機構の下側で平板状物体を非接触支持することができ、また、支持機構と平板状物体との位置ずれを自動的に補正することができる(セルフセンタリング効果)。
技術概要
空気中において、超音波で励振される平坦な振動面26の鉛直下方に、振動面26の外形と略等しい外形の平坦面を有する平板状物体30を、当該平坦面が振動面26に平行するように配置し、振動面26を超音波で面に垂直方向に励振して、振動面26の近接位置に平板状物体30を非接触状態で支持する。振動面26の超音波振動により平板状物体30に引力が働き、振動面26の鉛直下方で平板状物体30が非接触状態で支持される。振動面26と平板状物体30との中心位置がずれていても平板状物体30に復元力が作用し、ずれが自動的に解消される。この平板状物体の非接触支持方法は、平板状物体を非接触状態で支持することにより、振動面と平板状物体との水平方向の位置ずれを自動的に補正する。さらに、振動面と平板状物体との間に静電気による吸着力を作用させる。振動面を帯電させて、平板状物体に逆極性の電荷を誘起させる。平板状物体を帯電させて、振動面に逆極性の電荷を誘起させる。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 この平板状物体の支持機構への着脱は、超音波の出力開始及び停止のタイミングで発生するため、本発明を搬送装置に適用すれば、平板状物体を所望の位置から指定された搬送先まで的確に搬送することが可能である。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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