幾何学パターン形成方法

開放特許情報番号
L2008004608
開放特許情報登録日
2008/8/22
最新更新日
2010/9/3

基本情報

出願番号 特願2007-064799
出願日 2007/3/14
出願人 国立大学法人埼玉大学
公開番号 特開2008-225169
公開日 2008/9/25
発明の名称 多角形状パターンの形成方法
技術分野 機械・加工、化学・薬品
機能 機械・部品の製造
適用製品 幾何学パターン形成システム
目的 被加工物の表面に所望の幾何学パターンを形成することができる幾何学パターン形成方法を提供する。
効果 幾何学パターン形成方法では、大掛かりな装置や、手間の掛かる複雑な工程を必要とせずに、被加工物の表面に所望の幾何学パターンを正確に形成することができる。この幾何学パターン形成方法は、特に、多品種少量生産に適している。
技術概要
被加工物にレーザを照射し、前記被加工物の表面に複数の窪みを、間隔を空けて、二次元的に周期性を持つ配列に形成する第1のステップと、被加工物のエッチングを行い、窪みの各々を中心に広がった凹部同士が干渉し、凹部の境界が所定の幾何学パターンになるまでエッチングを続ける第2のステップと、を備える、幾何学パターン形成方法である。図1は、この幾何学パターン形成方法において、被加工物に窪みを形成するために用いるレーザ装置を示す。この装置は、フェムト秒レーザ10と、λ/2板11と、入射光が同一光路を通って反射することを防止するGlanレーザープリズム12と、光量を調節するNDフィルタ13と、ミラー15、16と、撮影用のCCDカメラ19と、カメラ位置に焦点を合わせるレンズ18と、可視光のBRG成分を分岐するディクロイックミラー17と、レーザの焦点を調整する集光レンズ20と、被加工物30を載置する加工ステージ21と、フェムト秒レーザ10及び加工ステージ21を制御する制御装置22とを備える。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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