調圧機能付高速ガス切替装置

開放特許情報番号
L2008004387
開放特許情報登録日
2008/8/15
最新更新日
2015/9/21

基本情報

出願番号 特願2008-134963
出願日 2008/5/23
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2009-279527
公開日 2009/12/3
登録番号 特許第5008086号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 調圧機能付高速ガス切替装置
技術分野 輸送
機能 その他
適用製品 調圧機能付高速ガス切替装置
目的 真空装置中の全圧を制御しつつ気体供給路を短時間で変更できる調圧機能付高速ガス切替装置を提供する。
効果 気体供給路における気体の切り替え管路部分において、先に供給していたガスの残留量を減少することができ、真空装置中の全圧を制御しつつ気体供給路を短時間で変更できることができるようになる。
技術概要
第1流量制御バルブを介して第1供給ガスを真空装置に供給する第1管路と、第2流量制御バルブを介して第2供給ガスを供給する第2管路とを第1三方向バルブで連結して、第1供給ガスと第2供給ガスのいずれかのガスを第1三方向バルブから第3流量制御バルブを介して真空装置に供給可能とし、第2管路の第2流量制御バルブと第1三方向バルブとの間の管路と、第4流量制御バルブを介して排気する排気管路とを第2三方向バルブで連結するとともに、排気管路の第4流量制御バルブと第2三方向バルブとの間の管路に第1管路から分岐した管路を連結して、第1供給ガスと第2供給ガスのいずれかのガスを第4流量制御バルブを介して排気可能とする。第1三方向バルブと第2三方向バルブとの間の管路に第1オンオフバルブを設けると共に、第1管路と排気管路を連結する管路に第2オンオフバルブを設け、第1供給ガスの供給時には第1オンオフバルブと第2オンオフバルブとを閉じるとともに、第1三方向バルブ及び第2三方向バルブを全て開放し、第1三方向バルブの第1管路側と、第2三方向バルブの排気管路側を閉じる調圧機能付高速ガス切替装置である。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 気体供給路における気体の切り替え管路部分において、先に供給していたガスの残留量を減少することができ、真空装置中の全圧を制御しつつ気体供給路を短時間で変更できることができるようになる。
改善効果2 高速に気体供給を変更することにより、ガスセンサの正確な応答時間を測定することができる調圧機能付き高速ガス切替装置を得ることができる。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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