欠陥を検査する方法及び欠陥検査装置

開放特許情報番号
L2008004385
開放特許情報登録日
2008/8/15
最新更新日
2015/9/21

基本情報

出願番号 特願2008-133809
出願日 2008/5/22
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2009-281846
公開日 2009/12/3
登録番号 特許第5007979号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 欠陥を検査する方法及び欠陥検査装置
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 欠陥検査装置
目的 被検査体における内部析出物、空洞欠陥、表面の異物ないしスクラッチ、表層のクラックの欠陥を精度よく検出し、欠陥の種類を特定して欠陥を分類できるようにする。
効果 偏光を与えたレーザーを被検査体面に照射し、その散乱光のP偏光成分光とS偏光成分光とを同時に計測し、応力を印加した場合と印加しない場合とを比較することによって、被検査体における欠陥を検出するとともに、内部析出物、空洞欠陥、表面の異物ないしスクラッチ、表層のクラックというような欠陥を検出し、さらにその種類を特定し、欠陥を分類することができる。
技術概要
被検査体に応力を印加又は印加していない状態とにおいて被検査体内に浸透し得る波長の光をポラライザーにより偏光を与えた上で被検査体の面に照射しその散乱光を検出して被検査体の欠陥を検査する方法である。被検査体に応力を印加していない状態及び印加した状態で被検査体の面上の位置において偏光を与えた光を該面に対して斜め方向に照射しそれにより生じた散乱光をP偏光の成分光とS偏光の成分光とに分離し各々の成分光の強度及びそれらの比としての偏光方向を夫々求めることと、被検査体に応力を印加していない状態で求められた各々の成分光の強度及び偏光方向と被検査体に応力を印加た状態で求められた各々の成分光の強度及び偏光方向を所定の閾値と対比することにより欠陥の検出及び/または分類を行う欠陥を検査する方法である。光源装置4からの光をポラライザー5を介して偏光を与えて被検査体Wに対し斜め方向に入射させ、その散乱光SBを暗視野に配置された偏光分離素子9を有するCCD撮像装置7で撮像し、得られたP偏光成分画像とS偏光成分画像とについて成分光強度を得て、それらの比としての偏光方向を求める。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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